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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：本公开提供了一种表面等离激元共振显微镜系统的聚焦方法，包括：对显微镜系统进行预聚焦处理；在SPR激发状态下，采集成像图像中反射光斑与光轴位置之间的垂直偏移距离，所述光轴位置为透镜组的光轴在成像图像中的交点位置；在垂直偏移距离不为零时，将所述垂直偏移距离代入至辅助聚焦函数中，以确定实际离焦量；根据所述实际离焦量调控压电位移台的位置，使所述显微镜系统聚焦。本公开通过建立反射光斑的位置与离焦量之间的关系，实时进行反射光斑位置的监测，并计算实际离焦量，以进行即时的压电位移台的位置调整，使压电位移台所夹持的待测物平面与透镜组的焦平面维持重合状态，有效提升了SPRM系统的对焦效率，普适性和实用性更佳。
主权项：1.一种表面等离激元共振显微镜系统的聚焦方法，其特征在于，包括：对显微镜系统进行预聚焦处理；在表面等离激元共振激发状态下，采集成像图像中反射光斑与光轴位置之间的垂直偏移距离，所述光轴位置为透镜组的光轴在成像图像中的交点位置；在所述垂直偏移距离不为零的情况下，将所述垂直偏移距离代入至辅助聚焦函数中，以确定实际离焦量；根据所述实际离焦量调控压电位移台的位置，使所述显微镜系统聚焦。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种表面等离激元共振显微镜系统的聚焦方法
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