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申请/专利权人:上海华虹宏力半导体制造有限公司
摘要:本发明公开了一种快速修复热点的OPC验证方法,首先进行常规OPC验证,验证项目包含pinchcheck、bridgecheck;通过上述的验证项目测试,如果没有找到热点,则验证通过;如果找到热点,则执行自动排除热点的步骤;形成新的OPC修复掩膜图形;载入本地OPC掩膜,重新执行OPC验证。本发明在OPC验证中,采用插值采样加权平均法对EPE测量值进行计算得到更精确的热点修复值,然后自动在掩膜图形对该处热点位置进行修复,得到更贴近理想曝光图形的OPC修复图形。
主权项:1.一种快速修复热点的OPC验证方法,其特征在于:首先进行OPC验证,验证项目包含pinchcheck、bridgecheck;通过上述的验证项目测试对掩膜版图进行热点检查,如果没有找到热点,则验证通过;如果找到热点,则执行自动修复排除热点的步骤;形成新的修复后的OPC修复掩膜图形;载入本地OPC掩膜,重新执行OPC验证。
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权利要求:
百度查询: 上海华虹宏力半导体制造有限公司 快速修复热点的OPC验证方法
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