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一种OPC小试镀膜装置 

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申请/专利权人:苏州恒久光电科技股份有限公司

摘要:本实用新型公开了一种OPC小试镀膜装置,包括:罩住工作台台面镀膜工作区的透明罩,伸入透明罩中的机械手,开设于透明罩一侧的取送样窗口,开设于透明罩另一侧的操作窗口,以及通过循环管道外接于透明罩的空气净化器。本实用新型的OPC小试镀膜装置,其能对导电铝管实施OPC小试镀膜;且能控制和改善镀膜环境,对镀膜环境进行持续除尘除菌,形成一个防菌、防尘等级高的镀膜环境;进而可改善很多镀膜异常现象,如可效消除或减少OPC小试镀膜出现脏污点多、气泡、色差等异常现,预估可提高OPC小试镀膜产品良率20%;且整套装置造价费用低,安装简便,实用性强,具有推广价值。

主权项:1.一种OPC小试镀膜装置,其特征在于,包括:台面设有镀膜工作区的工作台,罩住台面镀膜工作区且与台面密封连接的透明罩,设于镀膜工作区中的储液容器放置位和铝管放置位,由透明罩顶壁伸入透明罩中且与透明罩顶壁密封连接的机械手,开设于透明罩一侧的取送样窗口,封闭取送样窗口的密封门,开设于透明罩另一侧的操作窗口,封闭操作窗口且伸入透明罩中的操作手套,以及通过循环管道外接于透明罩的空气净化器。

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权利要求:

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