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申请/专利权人：天目山实验室;杭州市北京航空航天大学国际创新研究院(北京航空航天大学国际创新学院);湘湖实验室(农业浙江省实验室);苏州科仪谦精密设备有限公司

摘要：本发明公开一种用于表征液滴冰晶生长过程的ESEM冷台系统及方法，涉及微细观原位实验领域，该系统包括ESEM冷台，ESEM冷台包括制冷子系统、控制子系统、水循环子系统。制冷子系统由帕尔贴制冷器件、均温板、封盖组成，可根据控制子系统的输出信号进行升降温，通过采用金字塔形状的多级布局方式，使得帕尔贴制冷器件最低温度可达‑50℃；控制子系统由温度传感器、温度控制器组成，可设置目标温度、输出升降温控制信号，并实时读取温度传感器测量的均温板温度；水循环子系统用于将帕尔贴制冷器件热端面的热量带走。本发明可与ESEM联用，在室温至‑50℃的宽温域内实现对液滴冰晶生长过程微细观原位观测与表征。

主权项：1.一种用于表征液滴冰晶生长过程的ESEM冷台系统，其特征在于，包括ESEM冷台；所述ESEM冷台包括制冷子系统、控制子系统、水循环子系统；ESEM表示环境扫描电子显微镜；所述制冷子系统由帕尔贴制冷器件、均温板、封盖组成，所述帕尔贴制冷器件根据所述控制子系统的输出信号进行升温或降温；所述帕尔贴制冷器件采用金字塔形状的多级布局方式，帕尔贴制冷器件的最低温度为-50℃；所述均温板置于所述帕尔贴制冷器件的冷端面上方，用于放置待测样品；所述封盖具有中心孔，盖在所述均温板的上方，确保液滴冰晶仅在中心孔所在区域内的待测样品上生长；所述控制子系统由温度传感器、温度控制器组成，所述温度传感器用于实时测量所述均温板的温度；所述温度控制器实时读取所述温度传感器测量的温度；所述水循环子系统由水冷板、循环泵组成，所述水冷板置于所述帕尔贴制冷器件的热端面下方；所述循环泵向所述水冷板提供低温循环水。

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权利要求：

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