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芯片生产过程废水处理系统 

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申请/专利权人:济南晶硕电子有限公司

摘要:本申请涉及芯片生产过程废水处理设备技术领域,尤其涉及一种芯片生产过程废水处理系统,包括废水预处理装置,废水预处理装置包括筛水机构和储水机构,筛水机构与抽水管管路连接,筛水机构内的废水过滤后进入储水机构,储水机构内设有储水桶,储水桶与出水管管路连接;信息收集模块,用于收集储水桶底部称重传感器和抽水开关信号的信息;信息存储模块,用于存储最近一次抽水开关信号的信息;控制模块,用于在信息收集模块接收到抽水开关信号后选择进行抽水或者发出报警信息。本申请的芯片生产过程废水处理系统,有助于针对不同特性指标的废水进行精准处理,收集过程人工操作简单方便。

主权项:1.芯片生产过程废水处理系统,其特征在于,包括:废水预处理装置,所述废水预处理装置包括筛水机构(7)和储水机构(6),所述筛水机构(7)通过抽水泵(10)与抽水管(11)管路连接,经抽水管(11)进入筛水机构(7)内的废水经筛网(31)过滤后进入储水机构(6);所述储水机构(6)内设有储水桶(28),储水桶(28)通过电磁阀(20)与出水管管路连接,储水桶(28)底部设有称重传感器(29);所述抽水泵(10)、电磁阀(20)和称重传感器(29)均与控制装置(4)电连接;控制装置(4),包括信息收集模块、信息存储模块、控制模块和报警模块,其中:信息收集模块,用于收集称重传感器(29)和抽水开关信号的信息;所述抽水开关信号包括第一、第二、第三、第四抽水开关信号;信息存储模块,用于存储最近一次抽水开关信号的信息,所述最近一次抽水开关信号的信息为第一、第二、第三、第四抽水开关信号中的一种;控制模块,用于在信息收集模块接收到抽水开关信号:若称重传感器(29)检测到储水桶(28)内无水,控制抽水泵(10)通电,当抽水开关信号消失或者称重传感器(29)检测到储水桶(28)内水满时,控制抽水泵(10)断电;若称重传感器(29)检测到储水桶(28)内有水但水未满,并且信息存储模块存储的最近一次抽水开关信号的信息与此次抽水开关信号相同时,控制抽水泵(10)通电,当抽水开关信号消失或者称重传感器(29)检测到储水桶(28)内水满时,控制抽水泵(10)断电;若信息存储模块存储的最近一次抽水开关信号的信息与此次抽水开关信号不同时控制模块控制报警模块发出使用错误报警信息;若称重传感器(29)检测到储水桶(28)内水满时,控制模块控制报警模块发出水满报警信息。

全文数据:

权利要求:

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