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申请/专利权人：大福自动化洁净设备公司
摘要：本发明提供一种晶片吹扫型搁架组件以及具有该组件的缓冲模块，所述晶片吹扫型搁架组件包括：搁架，支撑晶片容纳容器；供应喷嘴，与所述晶片容纳容器的注入口连接；以及气体供应线，通过所述供应喷嘴将从工厂气体设备排放的惰性气体供应于所述晶片容纳容器，其中，所述气体供应线包括比例压力控制阀单元，以面积控制方式调节对所述晶片容纳容器的所述惰性气体的供应流量。
主权项：1.一种晶片吹扫型搁架组件，其特征在于，包括：搁架，支撑晶片容纳容器；供应喷嘴，与所述晶片容纳容器的注入口连接；以及气体供应线，通过所述供应喷嘴将从工厂气体设备排放的惰性气体供应于所述晶片容纳容器，其中，所述气体供应线包括：比例压力控制阀单元，以面积控制方式调节对所述晶片容纳容器的所述惰性气体的供应流量；所述比例压力控制阀单元包括：阀外壳，具有输入端口与输出端口；以及压电阀座，设置在所述阀外壳内，并且根据输入电压调节通过所述输入端口的所述惰性气体的流入面积，以控制通过所述输出端口输出的所述惰性气体的流量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大福自动化洁净设备公司 晶片吹扫型搁架组件以及具有该组件的缓冲模块
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