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申请/专利权人:应用材料公司
摘要:一种外壳系统包括形成内部容积的多个壁。外壳系统被配置为与基板处理系统的装备前端模块EFEM耦合。外壳系统进一步包括充电组件,所述充电组件包括第一充电线圈。外壳系统进一步包括设置在第一充电线圈之下的内部容积内的一个或多个第一支撑结构。一个或多个第一支撑结构被配置为在第一充电线圈的阈值距离内支撑第一验证晶片,以经由充电组件对第一验证晶片进行充电。
主权项:1.一种外壳系统,包括:多个壁,所述多个壁形成内部容积,其中所述外壳系统被配置为与基板处理系统的装备前端模块EFEM耦合;充电组件,所述充电组件包括第一充电线圈;以及一个或多个第一支撑结构,所述一个或多个第一支撑结构设置在所述第一充电线圈之下的所述内部容积内,其中所述一个或多个第一支撑结构被配置为在所述第一充电线圈的阈值距离内支撑第一验证晶片,以经由所述充电组件对所述第一验证晶片进行充电。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 应用材料公司 具有充电组件的外壳系统
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