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MEMS封装结构和电子设备 

申请/专利权人:甬矽电子(宁波)股份有限公司

申请日:2023-11-20

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN221275214U

主分类号:B81B7/02

分类号:B81B7/02

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.07.05#授权

摘要:本公开提供的一种MEMS封装结构和电子设备,涉及半导体封装技术领域。该MEMS封装结构包括基板、芯片和盖体,芯片设于基板上,且与基板电连接。盖体设有相互独立的振膜空腔和散热空腔,盖体罩设在基板上,以使芯片位于振膜空腔中;散热空腔内设有散热介质。该封装结构既能减少对芯片振膜的影响,降低振膜破损几率,同时能提高散热效率。

主权项:1.一种MEMS封装结构,其特征在于,包括:基板;芯片,所述芯片设于所述基板上,且与所述基板电连接;盖体,所述盖体设有相互独立的振膜空腔和散热空腔,所述盖体罩设在所述基板上,以使所述芯片位于所述振膜空腔中;所述散热空腔内设有散热介质。

全文数据:

权利要求:

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