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申请/专利权人：无锡光导精密科技有限公司
申请日：2023-10-27
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221282137U
主分类号：H01L31/18
分类号：H01L31/18;H01L21/673
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型涉及一种载台，包括：载台主体，所述载台主体在第一方向上的一侧形成吸附面，所述吸附面包括至少一个用于吸附产品的吸附区域，每个所述吸附区域开设有至少两个吸附槽，各个所述吸附槽之间相互独立；所述载台主体在所述第一方向上开设有气孔，各个所述吸附槽与其相对应的所述气孔连通，使得所述吸附槽能够吸附产品至其所对应的所述吸附区域。上述载台，由于各个吸附槽相互独立，当产品承载于载台上时，各相互独立的吸附槽能够通过与其连通的气孔与相对应的真空发生器连通，如此，相对于现有技术中密布吸附孔的方式，各个吸附槽能够进行独立控制，当局部的吸附槽产生泄露时将不会影响整体的吸附效果。
主权项：1.一种载台，其特征在于，包括：载台主体10，所述载台主体10在第一方向上的一侧形成吸附面20，所述吸附面20包括至少一个用于吸附产品的吸附区域21，每个所述吸附区域21开设有至少两个吸附槽30，各个所述吸附槽30之间相互独立；所述载台主体10在所述第一方向上开设有气孔40，各个所述吸附槽30与其相对应的所述气孔40连通，使得所述吸附槽30能够吸附产品至其所对应的所述吸附区域21。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡光导精密科技有限公司 载台
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