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一种太阳能电池用低电阻无铟靶材的制备工艺 

申请/专利权人:芜湖映日科技股份有限公司

申请日:2024-05-14

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN118164750B

主分类号:C04B35/457

分类号:C04B35/457;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/08;C23C14/34

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.07.05#授权;2024.06.28#实质审查的生效;2024.06.11#公开

摘要:本发明涉及靶材技术领域,具体涉及一种太阳能电池用低电阻无铟靶材的制备工艺。其制备工艺包括以下步骤:混粉,砂磨,造粒,成型和烧结:所述混粉采用氧化铪粉末、氧化钛粉末和改性氧化锡粉末混合,其中改性氧化锡粉末采用氟化物粉末改性氧化锡粉末。本发明制备的太阳能电池用低电阻无铟靶材具有高的致密性和低的电阻率,其溅射的薄膜在可见光和近红外光区域均具有较高的透光率,并且具有较好的导电性能,将其应用于太阳能电池,可以有效提高太阳能电池对光的利用效率。

主权项:1.一种太阳能电池用低电阻无铟靶材的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:(1)混粉:氧化铪粉末、氧化钛粉末和改性氧化锡粉末混合,得到混合粉末;(2)砂磨:将混合粉末、分散剂、消泡剂和粘结剂加入去离子水中,然后进行砂磨,得到粒度D50≤0.19μm的粉末浆料;(3)造粒:将粉末浆料进行喷雾造粒,得到复合粉末;(4)成型:将复合粉末进行冷压成型,得到预成型体;(5)烧结:将预成型体进行烧结,得到太阳能电池用低电阻无铟靶材;所述步骤(1)的混合粉末中氧化铪粉末的重量百分比为0.5%-1%,氧化钛粉末的重量百分比为1%-3%,余量为改性氧化锡粉末;所述步骤(1)中改性氧化锡粉末的制备方法如下:将氟化物粉末和氧化锡粉末混合,然后在氩气气氛下通过放电等离子球磨,得到改性氧化锡粉末,所述改性氧化锡粉末的制备原料中氟化物粉末的重量百分比为0.6%-1%,余量为氧化锡粉末;所述氟化物粉末为氟化钽粉末和氟化铌粉末中的一种或两个的混合物。

全文数据:

权利要求:

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