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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明涉及一种锅型靶材的焊接方法，所述焊接方法包括将支撑件和锅型靶材采用电子束焊接；所述支撑件从外到内依次包括第一环和第二环；所述第二环的材质与所述锅型靶材的材质相同；所述锅型靶材设置有环形台阶；所述环形台阶的内圆直径＜所述第二环的内圆直径。本发明提供的焊接方法，通过对支撑件进行特定的设计实现了支撑件和锅型靶材的高效焊接，避免了电子束焊接时熔点差异较大的靶材和支撑件即法兰存在的脱焊及焊接强度不达标的问题。
主权项：1.一种锅型靶材的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括将支撑件和锅型靶材采用电子束焊接；所述支撑件从外到内依次包括第一环和第二环；所述第二环的材质与所述锅型靶材的材质相同；所述锅型靶材设置有环形台阶；所述环形台阶的内圆直径＜所述第二环的内圆直径；所述支撑件为将所述第一环和所述第二环进行热等静压焊接得到；所述电子束焊接包括依次进行的第一焊接、第二焊接、第三焊接和第四焊接；所述第一焊接中的束流为10-20mA；所述第一焊接中的焦点为表面焦；所述第二焊接中的束流为30-40mA；所述第二焊接中的焦点为沉焦；所述第三焊接中的束流为50-70mA；所述第三焊接中的焦点为沉焦；所述第四焊接中的束流为25-40mA；所述第四焊接中的焦点为浮焦。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种锅型靶材的焊接方法
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