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申请/专利权人：苏州六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司

摘要：本发明属于冶金技术领域，具体涉及一种大尺寸多元合金热等静压管状靶材及其制备方法。本发明的大尺寸多元合金热等静压管状靶材以及采用本发明的制备方法制备的大尺寸多元合金热等静压管状靶材除了具有普通热等静压管状靶材纯度高，致密度高，组织均匀无偏析等特点外，还具有管靶长度为约≥2000mm，长径比为约≥20，抗弯强度为约≥130Mpa，直线度为约≤1mm的特点。本发明的制备大尺寸多元合金热等静压管状靶材的方法解决了在热等静压制备大尺寸管状靶材过程中易出现弯曲而影响后续加工和生产的问题，成品率高，应用范围广。

主权项：1.一种大尺寸多元合金热等静压管状靶材，其中该大尺寸多元合金热等静压管状靶材的纵向方向的长度为至少2000mm，长径比为≥20，抗弯强度为≥130Mpa，直线度为≤1mm，其特征在于，所述大尺寸多元合金热等静压管状靶材在径向方向上由外向内包含：管状靶材层、第一不锈钢背管和第二不锈钢背管，其中所述大尺寸多元合金热等静压管状靶材是通过包括以下步骤的方法制备的：步骤1：提供混合的粉末，该粉末包含所述管状靶材层所包含的元素；步骤2：提供第一热等静压包套，所述第一热等静压包套包含：第一不锈钢盖板，第二不锈钢盖板，外管，和作为所述第一不锈钢背管的内管，其中所述内管和所述外管同轴固定连接于所述第一不锈钢盖板，从而在所述内管和外管之间形成一端密闭的环形腔体；和所述第二不锈钢盖板用于封闭所述环形腔体的另一端；步骤3：将得自步骤1的混合的粉末装入在步骤2中获得的第一热等静压包套的环形腔体中，并用所述第二不锈钢盖板封闭所述环形腔体，然后使在所述第一热等静压包套的环形腔体中的粉末依次经历第一脱气处理和第一热等静压处理以获得小尺寸多元合金热等静压管状靶材锭坯，然后使所述小尺寸多元合金热等静压管状靶材锭坯经历第一机加工处理以获得小尺寸多元合金热等静压管状靶材，其中所述小尺寸多元合金热等静压管状靶材的纵向方向的长度为≤650mm，长径比为≤10，和所述小尺寸多元合金热等静压管状靶材在径向方向上由内向外包含：所述第一不锈钢背管，和冶金结合于所述第一不锈钢背管外表面的管状靶材层；步骤4：提供所述第二不锈钢背管，该第二不锈钢背管的外径小于所述小尺寸多元合金热等静压管状靶材的内径，且它们之间的差值为≤0.5mm，所述第二不锈钢背管的纵向方向的长度不小于所述大尺寸多元合金热等静压管状靶材的纵向方向的长度；步骤5：将两个或更多个得自步骤3的小尺寸多元合金热等静压管状靶材沿着得自步骤4的第二不锈钢背管的纵向方向依次套在所述第二不锈钢背管的径向方向的外周外，从而形成小尺寸多元合金热等静压管状靶材组合体；步骤6：提供第二热等静压包套，该第二热等静压包套包含能够容纳所述小尺寸多元合金热等静压管状靶材组合体的环形腔体，和将得自步骤5的小尺寸多元合金热等静压管状靶材组合体放入所述第二热等静压包套的环形腔体中，然后使在所述第二热等静压包套的环形腔体中的小尺寸多元合金热等静压管状靶材组合体依次经历第二脱气处理和第二热等静压处理，从而获得大尺寸多元合金热等静压管状靶材锭坯；步骤7：将得自步骤6的大尺寸多元合金热等静压管状靶材锭坯进行第二机加工处理以获得所述大尺寸多元合金热等静压管状靶材。

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