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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明涉及一种钛铌合金靶材及其制备方法与应用，所述钛铌合金靶材的制备方法包括如下步骤：1混合钛粉与铌粉，得到混合粉；2步骤1所得混合粉依次经压实处理、真空热压烧结处理以及机加工处理，得到所述钛铌合金靶材；步骤2所述真空热压烧结处理包括依次进行的第一加压处理、第一升温处理、第一保温保压处理、第二升温处理、第二保温保压处理以及第二加压处理。本发明通过将真空热压烧结处理过程分为多级加压、升温及保温保压阶段，制得的钛铌合金靶材的致密度与纯度高，且内部组织结构优异，能够满足作为溅射靶材的高性能要求。
主权项：1.一种钛铌合金靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：1混合钛粉与铌粉，得到混合粉；所述混合的料球比为10:2.5-3，所述混合的时间≥49h；2步骤1所得混合粉依次经压实处理、真空热压烧结处理以及机加工处理，得到所述钛铌合金靶材；步骤1所述混合粉中铌粉的质量百分含量为1-5wt％；步骤2所述真空热压烧结处理包括依次进行的第一加压处理、抽真空至真空度＜100Pa、第一升温处理、第一保温保压处理、第二升温处理、第二保温保压处理以及第二加压处理；所述第一加压处理的压力为5-20t，所述第一加压处理的时间为2-10min；所述第一保温保压处理的压力为48-50t，所述第一保温保压处理的温度为1000-1020℃，所述第二保温保压处理的压力为48-50t，所述第二加压处理包括：在2.9-3.1h内加压至290-310t；所述第二升温处理包括：以1-2℃min的升温速率升温至1300-1500℃。
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