申请/专利权人：倪建刚

申请日：2022-05-18

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN114990701B

主分类号：C30B35/00

分类号：C30B35/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2022.09.20#实质审查的生效;2022.09.02#公开

摘要：本发明涉及单晶炉部件领域，具体公开了一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法，包括底盘，底盘上设有降温通道，第一出水口连接降温装置，降温装置包括降温桶、电机和沿着降温桶从上至下依次分布的螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气喷水区以及填料区以及蓄水池；降温桶的顶部设有顶盖，所述电机固定于顶盖上；电机具有穿过顶盖内延伸至螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气喷水区以及填料区、蓄水池的电机轴；整个散热过程只用到了一个电机即可实现了水罩旋转甩水、摆动盘摆动冷却水，洒水管旋转洒水，气泵抽取降温桶内的空气并排出降温桶外、弹性填料的折叠或者展开改变水的流动路径等等。

主权项：1.一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，包括底盘1，所述底盘1上设有降温通道，降温通道一端连接第一进水口，一端连接第一出水口11,其特征在于：所述第一出水口11连接降温装置，该降温装置包括降温桶2、电机9和沿着降温桶2从上至下依次分布的螺旋散热区3、控水吸热区4、摆动散热区5、换气喷水区6以及填料区7以及蓄水池8；所述降温桶2的顶部设有顶盖21，所述电机9固定于顶盖21上；所述电机9具有穿过顶盖21内延伸至螺旋散热区3、控水吸热区4、摆动散热区5、换气喷水区6以及填料区7、蓄水池8的电机轴91；所述螺旋散热区3包括与降温桶2内壁连接的散热盘31，散热盘31的顶部形成螺旋形的散热槽32、设于散热槽32外圈上方的进水管33、设于散热槽32中心的第二出口34及水罩35，该进水管33穿出顶盖21连接第一出水口11，所述电机轴91穿出第二出水口34固定连接水罩35，所述水罩35罩设于第二出水口34处，水罩35外壁分布第一孔；所述控水吸热区4包括连接于水罩35底部的第一弹簧44、连接第一弹簧44底部的控水盘41、套设于控水盘41外围的外环套42，该外环套42固定于降温桶2内壁，所述电机轴91穿出控水盘41，且控水盘41外侧壁形成上小下大的第一圆台面41a，所述外环套42内壁也呈圆台形，且与第二圆台面42a配合，第一圆台面41a和第二圆台面42a之间形成第一间隙43；所述摆动散热区5包括摆动盘51，位于摆动盘51上方的聚水套52、设于摆动盘51底面第一磁块53、至少两个均匀分布在摆动盘51外圈的第二弹簧54；第二弹簧54连接降温桶2和摆动盘51，所述聚水套52内侧壁形成上大下小的圆台形引水壁52a，聚水套52连接于降温桶2内壁；所述摆动盘51呈中间下凹圆弧形，聚水套52底部延伸至摆动盘51内，摆动盘51内壁从内向外依次分布三角凸环51a，该三角凸环51a的横截面呈三角形，三角凸环51a的两侧壁向中心内凹；所述摆动盘51的中心设供电机轴穿出并自由旋转的第三出水口51c；所述换气喷水区6包括开口正对第三出水口51c的集水槽61、连通集水槽61下部外围洒水管62、套设于集水槽上部外围的反应板63以及设于反应板上的第二磁块64，该第二磁块64与第一磁块53对应，该集水槽61套设于电机轴91外；所述反应板63的底面设有环形的第一轨迹槽65，第一轨迹槽65沿周向形成波浪形，该第一轨迹槽65位于电机轴91外围；所述降温桶2内壁还设置有气泵22，该气泵22具有伸入第一轨迹槽65、并能沿第一轨迹槽65移动的气泵轴22a，连接气泵轴22a的气泵体22b，所述气泵体上位于降温桶2内的设有进气口22c和穿出降温桶2外的出气口22d。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 倪建刚 一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法

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