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申请/专利权人：西湖大学
申请日：2021-12-29
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN114425654B
主分类号：B23K26/36
分类号：B23K26/36;B23K26/082;B23K26/064;B23K26/70
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权;2022.09.02#著录事项变更;2022.05.20#实质审查的生效;2022.05.03#公开
摘要：本发明公开了一种基于飞秒激光加工掩膜制备声波器件叉指换能器的系统及方法，该方法利用聚焦飞秒激光在金属薄膜上直写出叉指换能器掩膜，然后将掩膜置于压电衬底上蒸镀金属，最后移除掩膜获得叉指换能器结构。本发明相比于传统微电子光刻工艺，省去了匀胶、烘干、光刻、显影、剥离等过程，大大简化了叉指换能器的制备工艺，具有低成本、工艺简便、绿色环保、可重复使用、易于大规模生产等优点，在大波长、低频声波微流体器件制备方面具有广阔的应用前景。
主权项：1.一种基于飞秒激光加工掩膜制备声波器件叉指换能器的方法，其特征在于，包括：以金属薄膜为加工对象，利用飞秒激光加工出叉指换能器掩膜；然后将掩膜置于压电衬底上，进行镀膜加工；镀膜完成后，移去叉指换能器掩膜，获得叉指换能器的叉指电极结构；所述金属薄膜为铝箔或钢箔，厚度为5~15μm；飞秒激光直写工艺中，所用飞秒激光器的中心波长为900~1100μm，脉冲宽度为120~140fs，激光脉冲重复频率为1~3kHz，加工功率为60~100mW，与掩模相对移动速度为0.15~0.25mms；叉指换能器的叉指电极宽度为30微米以上；采用蒸镀工艺进行金属镀膜，镀膜厚度为50~150nm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西湖大学 一种基于飞秒激光加工掩膜制备声波器件叉指换能器的系统及方法
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