申请/专利权人：默克专利股份有限公司

申请日：2019-03-20

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN111837075B

主分类号：G03F7/027

分类号：G03F7/027

优先权：["20180323 US 62/646,946"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2021.04.02#实质审查的生效;2020.10.27#公开

摘要：本发明涉及一种负型水性碱可显影光敏光刻胶组合物，其包含：a聚合物，其含有结构1、2、3及4的四种重复单元，但无其他类型的重复单元；其中v、x、y及z分别表示结构1、2、3及4的各重复单元的摩尔％；b自由基光引发剂组分，其包含至少一种自由基光引发剂，所述自由基光引发剂通过约360nm至约440nm的宽辐射吸收而活化；c交联剂组分，其为由结构5、6及7的交联剂组成的混合物或结构8的单一交联剂；d自由基抑制剂组分；e任选的表面活性剂组分；f任选的溶解促进剂组分；及g溶剂。本发明还涉及使用此负型光刻胶产生光刻图像的方法。

主权项：1.一种负型水性碱可显影光敏光刻胶组合物，其包含：a聚合物，其含有结构1、2、3及4的四种重复单元，但无其他类型的重复单元 其中，v、x、y及z分别表示所述聚合物中结构1、2、3及4的各重复单元的摩尔％，且另外其中，v在20至40摩尔％范围内，x在20至60摩尔％范围内，y在5至20摩尔％范围内，z在3至20摩尔％范围内，且另外其中，R1、R2、R3及R4独立地选自由H及CH3组成的组，且R5为C1至C4烷基部分，且仍另外，其中摩尔％v、x、y及z的总和一定总计为100摩尔％；b自由基光引发剂组分，其包含至少一种自由基光引发剂，所述自由基光引发剂通过360nm至440nm的宽辐射吸收而活化，且另外其中，所述交联剂组分c的总重量与所述自由基光引发剂组分b的总重量的重量比是9至40；c交联剂组分，其选自交联剂结构5、6及7的混合物，或结构8的单一交联剂，其中，R6、R7、R8、R10独立地选自H或甲基，且R9选自甲基或乙基，且另外其中，所述交联剂组分c的总重量与所述聚合物a的总重量的重量比是在0.71至1.2范围内； d自由基抑制剂组分，其含有至少一种自由基抑制剂；e任选的表面活性剂组分，其含有至少一种表面活性剂材料；f任选的溶解促进剂组分；及g溶剂；及另外其中，该组合物不含着色剂、颜料、色淀颜料、有机粒子、无机粒子、金属氧化物粒子、金属粒子、复合氧化物粒子、金属硫化物粒子、金属氮化物粒子、金属酸性氮化物粒子、无机盐粒子、有机盐粒子、胶态粒子、纤维、环氧乙烷、基于环氧乙烷的交联剂、聚硅氧烷聚合物。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 默克专利股份有限公司 负型超厚膜光刻胶

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