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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明提供一种能够自动地执行用于膜厚的光学性测定的基准强度数据基础强度数据等预设光谱数据的异常检测的异常检测方法及光学性膜厚测定装置。异常检测方法在工件的研磨前制作预设光谱数据，将预设光谱数据输入自动编码器，自动编码器是使用包含多个正常的预设光谱数据的训练数据通过机器学习构筑的已学习模型，计算从自动编码器输出的输出数据与预设光谱数据之差，在差大于阈值时，判定预设光谱数据存在异常。
主权项：1.一种异常检测方法，是为了光学性地测定工件的膜厚而使用的预设光谱数据的异常检测方法，其特征在于，在所述工件的研磨前制作所述预设光谱数据，将所述预设光谱数据输入自动编码器，所述自动编码器是使用包含多个正常的预设光谱数据的训练数据通过机器学习构筑的已学习模型，计算从所述自动编码器输出的输出数据与所述预设光谱数据之差，在所述差大于阈值时，判定所述预设光谱数据存在异常。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 用于膜厚测定的预设光谱数据的异常检测方法及光学性膜厚测定装置
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