申请/专利权人：天津大学

申请日：2021-10-20

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN113790988B

主分类号：G01N3/40

分类号：G01N3/40

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2021.12.31#实质审查的生效;2021.12.14#公开

摘要：基于柔性机构的宏微耦合次摆线微纳划痕实验机，它涉及一种划痕实验机，具体涉及基于柔性机构的宏微耦合次摆线微纳划痕实验机。本发明为了解决微纳加工结构大多采用刚性结构形式，其对装配精度要求很高，且行程小、难以微小化，对复杂表面结构的加工能力不足的问题。本发明包括安装台、试样盘承载组件、试样盘、刀盘安装组件、刀盘和背板；所述试样盘承载组件安装在安装台的上表面，试样盘安装在所述试样盘承载组件上，背板竖直固定在安装台的上表面，所述刀盘安装组件安装在背板的上部，刀盘安装在所述刀盘安装组件上，且刀盘位于试样盘的上方。本发明属于微纳加工制造领域。

主权项：1.基于柔性机构的宏微耦合次摆线微纳划痕实验机，其特征在于：所述基于柔性机构的宏微耦合次摆线微纳划痕实验机包括安装台（1）、试样盘承载组件、试样盘（5）、刀盘安装组件、刀盘（10）和背板（11）；所述试样盘承载组件安装在安装台（1）的上表面，试样盘（5）安装在所述试样盘承载组件上，背板（11）竖直固定在安装台（1）的上表面，所述刀盘安装组件安装在背板（11）的上部，刀盘（10）安装在所述刀盘安装组件上，且刀盘（10）位于试样盘（5）的上方；所述试样盘承载组件包括多个调节支脚（2）、气浮导轨（3）和微动平台（4）；气浮导轨（3）布置在安装台（1）的上方，且气浮导轨（3）的下表面设有多个调节支脚（2），微动平台（4）安装在气浮导轨（3）上，试样盘（5）安装在微动平台（4）上表面；所述微动平台（4）包括安装底板（41）、多个第一压电陶瓷（42）、多个电容传感器、电容传感器支架（43）和三自由度柔性铰链结构（44）；安装底板（41）水平安装在气浮导轨（3）上，三自由度柔性铰链结构（44）安装在安装底板（41）的上表面；电容传感器支架（43）安装在三自由度柔性铰链结构（44）内，多个电容传感器安装在电容传感器支架（43）上；三自由度柔性铰链结构（44）包括机架（441）、第一输出平台（442）、多个对称式双直角铰链（443）、多个动力块（444）和多个平行四边形导向结构（445）；机架（441）安装在安装底板（41）的上表面，第一输出平台（442）水平设置在机架（441）的上方，多个动力块（444）沿圆周方向均布设置在第一输出平台（442）的下方，动力块（444）通过平行四边形导向结构（445）与机架（441）连接，动力块（444）通过对称式双直角铰链（443）与第一输出平台（442）连接；多个第一压电陶瓷（42）沿圆周方向均布置在机架（441）的装配槽内，第一压电陶瓷（42）与动力块（444）连接；所述刀盘安装组件包括工业检测摄像头及光学镜头（6）、YZ直线导轨（7）、角度调节机构（8）和气浮主轴（9）；气浮主轴（9）安装在角度调节机构（8）上，角度调节机构（8）安装在YZ直线导轨（7）上，工业检测摄像头及光学镜头（6）安装在YZ直线导轨（7）上，YZ直线导轨（7）安装在背板（11）的上部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津大学 基于柔性机构的宏微耦合次摆线微纳划痕实验机

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