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申请/专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
摘要：本申请实施例公开了一种电感耦合型等离子体反应腔，该电感耦合型等离子体反应腔包括反应腔、介电窗和控温装置，其中，介电窗设置于反应腔上，介电窗上设置有电感线圈；控温装置用于对介电窗的温度进行监控，以对介电窗的温度进行控制。本方案可以提高电感耦合型等离子体反应腔的产能。
主权项：1.一种电感耦合型等离子体反应腔，其特征在于，包括：反应腔；介电窗，所述介电窗设置于所述反应腔上，所述介电窗上设置有电感线圈；壳体，所述反应腔和所述介电窗位于所述壳体内；控温装置，所述控温装置包括温度传感器、控制中心、流体传热管和流体加热器，所述控制中心分别与所述温度传感器、所述流体传热管和所述流体加热器电连接，所述流体加热器与所述流体传热管连通；所述温度传感器和所述流体传热管位于所述壳体内，且设置于所述介电窗上，所述控制中心和所述流体加热器设置于所述壳体上；所述流体传热管环绕所述电感线圈设置；所述温度传感器用于对所述介电窗的四个边角点以及中心点的当前温度进行检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 粤芯半导体技术股份有限公司 电感耦合型等离子体反应腔
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