申请/专利权人：山西大学

申请日：2021-10-28

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN114001647B

主分类号：G01B9/04

分类号：G01B9/04;G01B11/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权;2022.02.22#实质审查的生效;2022.02.01#公开

摘要：本发明属于光学成像与检测技术领域，公开了一种三波长点差分共焦显微探测方法与装置，装置包括三波长光源、照明针孔、分光镜、色散物镜、探测针孔和探测模块；三波长光源发出的三个波长的照明光束依次经照明针孔和分光镜后入射到色散物镜；色散物镜用于将各个波长的光聚焦在色散物镜光轴上的不同位置处，形成测量光束照射在被测样品表面上；从被测样品表面反射的测量光束经色散物镜沿原光路返回至分光镜，经分光镜后经探测针孔入射至探测模块，得到照明光束在各个波长下的共焦响应强度值，共焦响应强度值用于计算得到被测样品表面的位移信息。本发明具有信噪比高、测量速度快、结构简单、装配调整简单等优点。

主权项：1.三波长点差分共焦显微探测装置，其特征在于，包括：三波长光源（1）、照明针孔（2）、分束镜（3）、色散物镜（4）、探测针孔（6）和探测模块；所述三波长光源（1）发出波长λ1、λ2、λ3的三波长照明光束，所述三波长照明光束依次经所述照明针孔（2）和分束镜（3）后入射到所述色散物镜（4）；所述色散物镜（4）对不同波长的光有不同的焦距，用于将各个波长的光聚焦在色散物镜（4）光轴上的不同位置处，形成测量光束照射在被测样品（5）表面上；从被测样品（5）表面反射的三波长测量光束经所述色散物镜（4）后沿原光路返回至分束镜（3），依次经所述分束镜（3）和探测针孔（6）后入射至探测模块，经探测模块得到被测样品在波长λ1、λ2、λ3下的共焦响应强度值I1、I2、I3，所述探测针孔（6）与所述照明针孔（2）共轭设置，共焦响应强度值I1、I2、I3用于计算得到被测样品（5）表面的位移信息；所述探测模块包括波长分光装置（7）和探测器（8）；所述波长分光装置（7）用于将三波长测量光束中的不同波长的光送至探测器（8）不同的探测区域，经所述探测器（8）的不同探测区域得到对应的光强值，即测量装置在照明波长λ1、λ2、λ3下的共焦响应强度值I1、I2、I3；所述波长分光装置（7）包括：球面反射镜（701）、光栅（702）、球面聚焦镜（703），所述光栅（702）、球面聚焦镜（703）分别设置在球面反射镜（701）两侧，从被测样品（5）表面反射的测量光束依次经色散物镜（4）、分束镜（3）、探测针孔（6）后入射至所述球面反射镜（701），然后经球面反射镜（701）反射后入射至所述光栅（702），经所述光栅（702）反射后，三波长照明光束中不同波长的光分开，然后经所述球面聚焦镜（703）聚焦到探测器（8）的不同探测区域；所述探测模块包括准直镜（704）、第一二色分光镜（705）、第二二色分光镜（706）和三个探测单元；所述准直镜（704）用于将通过探测针孔（6）的三波长测量光束进行准直，准直后的三波长测量光束依次通过第一二色分光镜（705）、第二二色分光镜（706）后将三波长测量光束中三个波长的光分开，每个所述探测单元分别用于探测其中一个波长光的强度；或者，所述探测模块包括准直镜（704）、第一分光单元（707）、第二分光单元（708）、三个窄带滤波片和三个探测单元；所述准直镜（704）用于将通过探测针孔（6）的三波次测量光束进行准直，准直后的光束依次通过第一分光单元（707）、第二分光单元（708）后分为三束，然后每束光经一个窄带滤波片后入射到其中一个探测单元，每个所述探测单元分别用于探测其中一个波长光的强度；或者，所述探测模块包括波分复用器（713）和三个探测单元；或者，所述探测模块为光谱仪。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山西大学 三波长点差分共焦显微探测方法与装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD