龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：魅杰光电科技(上海)有限公司
摘要：本申请提供一种半导体量测聚焦及焦面位置搜索方法、装置、设备及介质，应用于自动化半导体量检测设备技术领域，焦面位置搜索方法包括对聚焦潜在区间采用三分法获取聚焦位置，使用m,n两个点将聚焦潜在区间划分为三个子区间，再控制聚焦机构移动到m,n这两个位置，分别取图并通过算法计算图像的清晰度，根据这两个位置点的清晰度评价值判断焦面位置更可能出现的区间，并缩小潜在的焦面位置区间，重复上述过程，直至满足给定的聚焦精度完成聚焦。该焦面位置搜索方法的算法复杂度显著降低，能够显著减少取图数量，加快聚焦速度，显著提升了半导体量检测的精准度和高效性。
主权项：1.一种焦面位置搜索方法，其特征在于，包括：对聚焦潜在区间采用三分法获取聚焦位置；其中，三分法获取聚焦位置的遍历过程包括：确定当前聚焦潜在区间是否已经满足预设的聚焦位置精度阈值；如果满足，则将所述当前聚焦潜在区间的中心位置确定为聚焦的焦面位置；如果不满足，则将所述当前聚焦潜在区间划分为三个子区间，其中将所述当前聚焦潜在区间记为[l,r]，第一子区间记为[l,m]，第二子区间记为m,n，第三子区间记为[n,r]；以及，在划分三个子区间后，分别获取m点和n点位置各自对应的图像及图像清晰度评价值，其中m点和n点位置各自对应的图像清晰度评价值记为fm、fn，若fmfn，则将区间[m,r]重新确定为聚焦位置遍历所需的所述当前聚焦潜在区间，反之则将区间[l,n]重新确定为聚焦位置遍历所需的所述当前聚焦潜在区间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 魅杰光电科技(上海)有限公司 半导体量测聚焦及焦面位置搜索方法、装置、设备及介质
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号