龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：力晶积成电子制造股份有限公司
申请日：2023-01-19
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118299241A
主分类号：H01J37/22
分类号：H01J37/22;H01J37/31;H01J37/304
优先权：["20230104 TW 112100274"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本发明公开一种电子装置及其使用方法，其中该电子装置包括离子源、光源、影像传感器以及控制器。离子源用以产生聚焦离子束，且适于沿多个铣削线依序铣削样品。光源用以产生照明光束。影像传感器用以接收照明光束被样品反射后的影像光束。控制器电连接至离子源、光源及影像传感器。在聚焦离子束沿铣削线的其中之一铣削线铣削样品后，控制器根据影像光束沿该其中之一铣削线的光强度相对于位置的曲线图，调整下一条铣削线的方向及位置。
主权项：1.一种电子装置，包括：离子源，用以产生聚焦离子束，且适于沿多个铣削线依序铣削样品；光源，用以产生照明光束；影像传感器，用以接收该照明光束被该样品反射后的影像光束；以及控制器，电连接至该离子源、该光源及该影像传感器，其中在该聚焦离子束沿该些铣削线的其中之一铣削线铣削该样品后，该控制器根据该影像光束沿该其中之一铣削线的光强度相对于位置的曲线图，调整下一条铣削线的方向及位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 力晶积成电子制造股份有限公司 电子装置及其使用方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号