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申请/专利权人：科磊股份有限公司
申请日：2023-05-19
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118302845A
主分类号：H01L21/66
分类号：H01L21/66
优先权：["20220531 US 63/347,133","20220928 US 17/955,385"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.07.05#公开
摘要：一种计量系统可将分布于一或多个样本上的多个场中的多个计量目标的计量测量布置成信号向量，其中在所述信号向量内对与所述多个场中的每一者中的所述计量目标相关联的所述计量测量进行分组。所述系统可进一步将所述信号向量分解成与所述信号向量的不同光谱分量相关联的重建向量。所述系统可进一步将所述重建向量的子集分类为计量模型的分量，其中所述分量的总和对应于描述对所述一或多个样本的所述计量测量的计量模型。所述系统可进一步基于所述计量模型产生用于控制一或多个处理工具的控制信号。
主权项：1.一种计量系统，其包括：控制器，其包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行程序指令，所述程序指令引起所述一或多个处理器：将分布于一或多个样本上的多个场中的多个计量目标的计量测量布置成信号向量，其中在所述信号向量内对与所述多个场中的每一者中的所述计量目标相关联的所述计量测量进行分组；将所述信号向量分解成与所述信号向量的不同光谱分量相关联的重建向量；将所述重建向量的子集分类为计量模型的分量，其中所述分量的总和对应于描述对所述一或多个样本的所述计量测量的所述计量模型；且基于所述计量模型产生用于控制一或多个处理工具的控制信号。
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