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申请/专利权人：日本电子材料株式会社
申请日：2022-03-31
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118302678A
主分类号：G01R1/073
分类号：G01R1/073;H01L21/66;G01R1/067;G01R31/28
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本发明的目的在于使探针对两个以上的引导板的插通容易化。在用于探针卡1的探针插通方法中，两张引导板301、302相互分离地配置，在分别形成于两张引导板301、302的两个引导孔311、312插通了探针50，探针插通方法具备如下步骤：将牵引杆60插通于两个引导孔311、312；将插通于两个引导孔311、312的牵引杆60的前端与设于探针50的前端设置的连结部510可分离地连结；将牵引杆60从两个引导孔311、312拔出，来将探针50插通于两个引导孔311、312；以及将从两个引导孔311、312拔出的牵引杆60从探针50分离。
主权项：1.一种探针插通方法，是用于探针卡的探针插通方法，其中，所述探针卡将两张引导板相互分离地配置，在分别形成于所述两张引导板的两个引导孔插通探针，所述探针插通方法的特征在于，具备如下步骤：将牵引杆插通于所述两个引导孔；将插通于所述两个引导孔的所述牵引杆的前端与设于探针的前端的连结部可分离地连结；将所述牵引杆从所述两个引导孔拔出，来将所述探针插通于所述两个引导孔；以及将从所述两个引导孔拔出的所述牵引杆从所述探针分离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本电子材料株式会社 探针插通方法以及探针
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