申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司

申请日：2022-10-27

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN118302721A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G02B26/08

优先权：["20211103 DE 102021212394.5"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.07.05#公开

摘要：本发明涉及一种光学系统，该光学系统具有：用于在光学系统100中引导辐射16的多个光学部件101；多个N1个组件111‑114，其中N1≥2，所述N1个组件111‑114中的每一个包括至少一个致动器传感器设备102，所述至少一个致动器传感器设备102被分配给所述光学部件101中的一个光学部件；以及N2个致动单元130，130A，130B，用于致动所述N1个组件111‑114，其中N2≥1，其中N2个致动单元130，130A，130B中的每一个被分配给N1个组件111‑114中的至少两个，并且其中提供接口140，用于将相应的致动单元130，130A，130B电连接到分配给致动单元130，130A，130B的组件111‑114，以便在致动单元130，130A，130B以及分配给致动单元130，130A，130B的相应组件111‑114之间传输相应的电信号，其中相应电信号包括用于操作相应组件111‑114的数据信号和或电能，并且其中用于分配给致动单元130，130A，130B的每个组件111‑114的接口140具有相应电缆束B1‑B6。

主权项：1.一种光学系统100，包括：多个光学部件101，用于在所述光学系统100中引导辐射16，多个N1个装置111-114，其中N1≥2，其中所述N1个装置111-114中的每一个包括分配给所述光学部件101中的一个的至少一个致动器传感器设备102，以及N2个控制单元130、130A、130B，用于控制所述多个N1个装置111-114，其中N2≥1，其中所述N2个控制单元130、130A、130B中的每一个被分配所述N1个装置111-114中的至少两个，并且其中提供接口140，用于将相应的控制单元130、130A、130B电耦接到分配给所述控制单元130、130A、130B的所述装置111-114，以便在所述控制单元130、130A、130B以及分配给所述控制单元130、130A、130B的相应装置111-114之间传输相应的电信号，其中所述相应电信号包括用于操作所述相应装置111-114的数据信号和或电能，并且其中所述接口140具有用于分配给所述控制单元130、130A、130B的所述装置111-114中的每一个的相应电线束B1-B6，其中，相应的电线束B1-B6包括多个工作电压线V+，V-和多个数据信号线DATA0，DATA1。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 光学系统、光刻设备和方法

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