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申请/专利权人：理波光电科技(无锡)有限公司
摘要：本实用新型涉及一种高可靠性激光加工用光学系统。其包括：激光束生成单元，包括激光器以及与所述激光器适配的光束光路单元；光斑监测单元，装配在工件台上，基于工件台运动配置所述光斑监测单元与加工激光束正对应；监测控制单元，包括控制主机、用于光功率测量的光功率测量单元以及用于对加工激光束加工过程监控的工作监控单元，其中，光功率测量单元、工作监控单元以及光斑监测单元均与控制主机电连接；控制主机与激光束生成单元电连接，配置激光器和或光束光路单元相应的工作状态，以稳定入射至工件台上的加工激光束。本实用新型能有效实现对光斑监控，提高利用光学系统进行激光加工的可靠性。
主权项：1.一种高可靠性激光加工用光学系统，其特征是，所述光学系统包括：激光束生成单元，包括激光器以及与所述激光器适配的光束光路单元，其中，激光器发射的激光，经光束光路单元形成垂直入射至工件台的加工激光束；光斑监测单元，装配在工件台上，基于工件台运动配置所述光斑监测单元与加工激光束正对应，以利用所述光斑监测单元获取所述加工激光束的光斑位置和或光斑形态；监测控制单元，包括控制主机、用于光功率测量的光功率测量单元以及用于对加工激光束加工过程监控的工作监控单元，其中，光功率测量单元、工作监控单元以及光斑监测单元均与控制主机电连接；控制主机与激光束生成单元电连接，配置激光器和或光束光路单元相应的工作状态，以稳定入射至工件台上的加工激光束。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 理波光电科技(无锡)有限公司 高可靠性激光加工用光学系统
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