申请/专利权人：成都天一国泰真空设备有限公司

申请日：2024-03-29

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN118299237A

主分类号：H01J27/16

分类号：H01J27/16;C23C14/46

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要：本发明公开了一种用于射频离子源阴极手动匹配器结构，属于真空镀膜技术领域，目的在于提供一种用于射频离子源阴极手动匹配器结构，解决传统射频离子源阴极自动匹配器造价昂贵，使得射频离子源的制造成本过高的问题。其包括壳体，壳体内安装有空气可调电容组，所述空气可调电容组包括四只可调电容，手动调节旋钮与可调电容的旋转杆连接。所述壳体的一端安装有电气输入底座，所述电气输入底座上设置有直流电源输入插座、氩气输入卡套接头、射频电源引入插座，所述壳体内安装有阻抗脉动切换组件，所述壳体远离电气输入底座的一端设置有真空法兰组件，所述壳体内还设置有氩气贯穿毛细管。本发明适用于一种用于射频离子源阴极手动匹配器结构。

主权项：1.一种用于射频离子源阴极手动匹配器结构，其特征在于，包括壳体，所述壳体通过外壳1和内壳3围合而成，所述内壳3上设置有面罩2，所述壳体内安装有空气可调电容组5，所述空气可调电容组5包括四只可调电容，所述面罩2上安装有四只手动调节旋钮10，所述手动调节旋钮10分别与可调电容的旋转杆连接；所述壳体的一端安装有电气输入底座4，所述电气输入底座4上设置有直流电源输入插座43、氩气输入卡套接头42、射频电源引入插座41；所述壳体内安装有阻抗脉动切换组件6，所述阻抗脉动切换组件6包括PCB后板63、PCB前板66、第一真空继电器61、第二真空继电器62，所述第一真空继电器61的一端焊接于PCB后板63上，所述第一真空继电器61的另一端焊接于PCB前板66上，所述第二真空继电器62焊接于PCB后板63上，所述PCB前板66上还设置有PCB插座64，所述PCB插座64通过导线与直流电源输入插座43连接；所述壳体远离电气输入底座4的一端设置有真空法兰组件8，所述真空法兰组件8上设置有射频电极杆81、维持极电极杆82、收集极电极杆83、氩气输出卡套接头84，所述射频电极杆81的电极端通过四氟导线与第二真空继电器62的射频信号引出点69连接，所述维持极电极杆82的电极端通过四氟导线与PCB前板66的维持极引出点68连接，所述收集极电极杆83通过四氟导线与PCB前板66的收集极引出点67连接，所述射频电极杆81、维持极电极杆82、收集极电极杆83、氩气输出卡套接头84远离壳体内部的一端安装有射频阴极接插件锁紧连接法兰85；所述壳体内还设置有氩气贯穿毛细管7，所述氩气贯穿毛细管7的一端与氩气输入卡套接头42连通，所述氩气贯穿毛细管7的另一端与氩气输出卡套接头84连通。

全文数据：

权利要求：

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