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申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2021-03-19
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118299309A
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;H01L21/67;B25J11/00;B65G54/02
优先权：["20200320 US 16/825,450"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本文公开涉及用于电子装置处理系统的传送腔室的系统和方法。传送腔室可包括具有面向上定向的第一磁悬浮轨道和与第一磁悬浮轨道分隔开且具有面向下定向的第二磁悬浮轨道。系统可包括沿着第一磁悬浮轨道和第二磁悬浮轨道移动的基板载具，其中各个基板载具包括在底部部分上与第一磁场相互作用的磁体和在顶部部分上与第二磁场相互作用的第二磁体。系统亦可包括至少一个升降杆组件，在垂直方向中于第一磁悬浮轨道与第二磁悬浮轨道之间移动基板载具。
主权项：1.一种用于电子装置处理系统的传送腔室，包含：第一磁悬浮轨道，所述第一磁悬浮轨道设置于所述传送腔室之中，其中所述第一磁悬浮轨道具有面向上定向，所述面向上定向构造成在所述第一磁悬浮轨道上方产生第一磁场；第二磁悬浮轨道，所述第二磁悬浮轨道设置于所述传送腔室之中从所述第一磁悬浮轨道间隔开，其中所述第二磁悬浮轨道具有面向下定向，所述面向下定向构造成在所述第二磁悬浮轨道下方产生第二磁场；和至少一个组件，所述至少一个组件构造成在所述第一磁悬浮轨道和所述第二磁悬浮轨道之间在垂直方向中移动多个基板载具，其中所述至少一个组件沿着所述第一磁悬浮轨道定位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 基板传送系统和基板传送系统的使用方法
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