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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
摘要：本发明涉及一种硅片盒，用于承载硅片，包括承载主体和在第一方向上间隔排列于所述承载主体内的多个承载槽，每个所述承载槽通过弹性连接件设置于所述承载主体内，其中，每个所述承载槽在未承载硅片时，所述弹性连接件处于自然状态，每个所述承载槽在承载硅片时，所述弹性连接件弹性压缩。本发明还涉及一种硅片状态检测组件、硅片传送设备和传送方法。可以快速获取每个承载槽内的硅片承载状态，便于机械臂的夹取，提高效率，且减小破片率。
主权项：1.一种硅片盒，用于承载硅片，其特征在于，包括承载主体和在第一方向上间隔排列于所述承载主体内的多个承载槽，每个所述承载槽通过弹性连接件设置于所述承载主体内，其中，每个所述承载槽在未承载硅片时，所述弹性连接件处于自然状态，每个所述承载槽在承载硅片时，所述弹性连接件弹性压缩。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安奕斯伟硅片技术有限公司 硅片盒、硅片状态检测组件、硅片传送设备和传送方法
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