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一种基于扇形谐振腔的微波表面电阻测试系统及测试方法 

申请/专利权人:电子科技大学

申请日:2024-02-28

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN118294722A

主分类号:G01R27/02

分类号:G01R27/02;G01R27/26

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要:本发明的目的在于提供一种基于扇形谐振腔的微波表面电阻测试系统及测试方法,属于微波测试技术领域。本发明创新性地采用扇形谐振腔,通过设定扇形圆心角度,使其工作于TE0n1模式,因为TE0n1模式只有φ方向的电场分布,将扇形的左右两个侧面使用高电导率的金属板使其为电壁电场分量垂直于电壁面;同时,基于模式频率设计腔体尺寸,使其抑制工作模式附近的干扰模式,在宽频率范围内得到一个比较“纯净”的TE0n1模式频谱;除此之外,通过将谐振腔和待测导体材料进行可分离设置,实现了宽频带内不同导体材料在微波工作下的表面电阻测试。

主权项:1.一种基于扇形谐振腔的微波表面电阻测试系统,其特征在于,包括谐振腔、耦合装置、高度调节装置、支撑部件、矢量网络分析仪和计算机;所述谐振腔包括主腔体、上端面和下端面;主腔体为立方体形状,中心设置扇形空腔,扇形的圆心角为α,扇形半径为b;上端面为矩形金属板,下端面为平板状的待测样品;支撑部件包括水平支撑底座和固定设置于水平支撑底座一端的支撑臂的一端,谐振腔的上端面和主腔体固定设置于支撑臂的另一端上;耦合装置包括两个耦合探针环和耦合量调节单元,两个耦合环对称设置于扇形空腔圆弧侧,位于主腔体高度方向的中心平面上,对称轴为圆心到圆弧中心点的连线,且耦合环水平;所述耦合量调节单元固定于支撑臂的另一端,与耦合环末端连接,用于调节耦合环在扇形空腔内的深度,以调节耦合量,达到弱耦合状态;高度调节装置设置于水平支撑底座上,待测样品放置于高度调节装置上表面,调节高度调节装置,使主腔体、上端面和下端面共同构成完成扇形腔;利用高度调节装置,调节腔体和高度调节装置上表面的距离,从而用于实现对不同厚度的待测样品的测试;所述矢量网络分析仪通过电缆与耦合装置连接,并通过网线连接至计算机。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 电子科技大学 一种基于扇形谐振腔的微波表面电阻测试系统及测试方法

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