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超声增强等离子体电化学辅助液囊抛光装置及抛光方法 

申请/专利权人:四川大学

申请日:2024-03-28

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN118288115A

主分类号:B24B1/00

分类号:B24B1/00;C25F3/16;C25F7/00;C25F3/26;C25F3/22;B24B1/04;B24B29/02;B24B41/04

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要:本发明涉及液囊抛光技术领域,并公开了超声增强等离子体电化学辅助液囊抛光装置及抛光方法。本发明的抛光装置包括上下间隔设置的上基座和下基座,下基座具有沿上基座轴向移动的自由度,上基座与下基座之间设置有环形液囊,环形液囊的上开口套装在上基座上,环形液囊的下开口套装在下基座上,上基座、下基座与环形液囊之间形成储液空腔,上基座上穿设有去离子水导管,去离子水导管连通储液空腔,下基座上穿设有电解液导管,电解液导管导通环形液囊,电解液导管上套装有超声振子。通过放电在工件表面产生等离子体电化学作用,在超声作用下,工件表面形成微小的空泡或气泡,使工件表面更易产生等离子体,实现具有高完整性的加工表面,具有高加工精度、高效率、工具寿命长等优点。

主权项:1.超声增强等离子体电化学辅助液囊抛光装置,其特征在于,包括上下间隔设置的上基座(101)和下基座(102),所述下基座(102)具有沿所述上基座(101)轴向移动的自由度,所述上基座(101)与下基座(102)之间设置有环形液囊,所述环形液囊的上开口套装在所述上基座(101)上,所述环形液囊的下开口套装在所述下基座(102)上,所述上基座(101)、下基座(102)与环形液囊之间形成储液空腔,所述上基座(101)上穿设有去离子水导管(105),所述去离子水导管(105)连通所述储液空腔,所述下基座(102)上穿设有电解液导管(3),所述电解液导管(3)导通所述环形液囊。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 四川大学 超声增强等离子体电化学辅助液囊抛光装置及抛光方法

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