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一种GaN HEMT器件引脚整形装置 

申请/专利权人:江苏芯港半导体有限公司

申请日:2023-12-26

公开(公告)日:2024-07-02

公开(公告)号:CN117816869B

主分类号:B21F11/00

分类号:B21F11/00;B21F23/00;H01L23/49;H01L29/778

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.07.02#授权;2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要:本发明涉及金属线材加工技术领域,本发明公开了一种GaNHEMT器件引脚整形装置,包括顶梁、射流切割机、工位运转组件、预包覆组件和高温分离组件,所述射流切割机固定设于顶梁下方,所述射流切割机下方固定设有水刀切割头,所述工位运转组件设于顶梁下方,所述预包覆组件设于顶梁下方,所述高温分离组件设于顶梁下方,所述预包覆组件包括托举架、裹浆盒、高温容器、输送泵机、软管、三通管、半导体制冷片和出入协助单元。本发明具体提供了使用射流切割机来代替金属刀具并且不存在刀具磨损问题的GaNHEMT器件引脚整形装置。

主权项:1.一种GaNHEMT器件引脚整形装置,其特征在于:包括顶梁(1)、射流切割机(2)、工位运转组件(6)、预包覆组件(7)和高温分离组件(9),所述射流切割机(2)固定设于顶梁(1)下方,所述射流切割机(2)下方固定设有水刀切割头(3),所述工位运转组件(6)设于顶梁(1)下方,所述预包覆组件(7)设于顶梁(1)下方,所述高温分离组件(9)设于顶梁(1)下方,所述预包覆组件(7)包括托举架(702)、裹浆盒(703)、高温容器(704)、输送泵机(705)、软管(706)、三通管(707)、半导体制冷片(710)和出入协助单元(8);所述托举架(702)位于顶梁(1)下方,所述裹浆盒(703)固定设于托举架(702)上方,所述半导体制冷片(710)固定设于裹浆盒(703)外部,所述三通管(707)固定设于裹浆盒(703)外部并且与裹浆盒(703)连通,所述高温容器(704)固定设于顶梁(1)下方,所述输送泵机(705)固定设于高温容器(704)下方,所述软管(706)固定设于输送泵机(705)和三通管(707)之间,所述高温容器(704)、输送泵机(705)、软管(706)、三通管(707)和裹浆盒(703)内均设有相变黏着填料(7041);所述出入协助单元(8)设于托举架(702)上,所述出入协助单元(8)包括弹性膜(802)、协助横条(803)、Z向协助电控推杆(804)和连接弯柄(805),所述裹浆盒(703)和托举架(702)上竖直开设有贯通口(801),所述弹性膜(802)固定设于裹浆盒(703)内,所述弹性膜(802)对相变黏着填料(7041)和贯通口(801)具有分隔作用,所述协助横条(803)固定设于弹性膜(802)下方,所述Z向协助电控推杆(804)固定设于托举架(702)下方,所述连接弯柄(805)穿过贯通口(801)并且固定设于协助横条(803)和Z向协助电控推杆(804)之间;所述预包覆组件(7)还包括单向阀(708)和清空泵机(709),所述单向阀(708)固定设于三通管(707)和裹浆盒(703)的连接处,所述清空泵机(709)固定设于三通管(707)一端;所述工位运转组件(6)包括L形支架(602)、方位调节轴(603)、方位调节电机(604)、蜗杆(605)、蜗轮(606)、T形支架(607)、X向取放电控推杆(608)和取放抓手(609),所述L形支架(602)位于顶梁(1)下方,所述L形支架(602)一侧固定设有后连接耳板(6031),所述方位调节轴(603)转动设于后连接耳板(6031)上,所述方位调节电机(604)固定设于L形支架(602)顶端,所述蜗杆(605)固定设于方位调节电机(604)的输出端上,所述蜗轮(606)固定设于方位调节轴(603)上并且与蜗杆(605)啮合连接,所述方位调节轴(603)的端部固定设有前连接耳板(6032),所述T形支架(607)固定设于前连接耳板(6032)上,所述X向取放电控推杆(608)和取放抓手(609)均设有两组,两组所述X向取放电控推杆(608)对称固定设于T形支架(607)两侧,两组所述取放抓手(609)分别和两组X向取放电控推杆(608)固定连接,两组所述取放抓手(609)内卡合设有芯片主体(4),所述芯片主体(4)上贴合设有冻结塑形块(5),所述冻结塑形块(5)由相变黏着填料(7041)冷却形成;所述裹浆盒(703)左右两侧均开设有适配于取放抓手(609)的抓手滑槽(7031);所述预包覆组件(7)还包括Z向分离电控推杆(701),所述Z向分离电控推杆(701)固定设于顶梁(1)和托举架(702)之间;所述高温分离组件(9)包括大悬挂支架(901)、多孔漏板(902)和电加热器(903),所述大悬挂支架(901)固定设于顶梁(1)下方,所述多孔漏板(902)固定设于大悬挂支架(901)底端,所述电加热器(903)固定设于大悬挂支架(901)上。

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