申请/专利权人：北京中科飞龙传感技术有限责任公司

申请日：2023-11-10

公开（公告）日：2024-07-02

公开（公告）号：CN117538628B

主分类号：G01R29/12

分类号：G01R29/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.02#授权;2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.09#公开

摘要：本申请涉及一种用于硬压板电压非侵入监测的电场感知探头，其包括绝缘基座，其上固定有焊盘；金属外壳，与绝缘基座固定，并与绝缘基座的地电连接，形成内部为空腔的电磁屏蔽壳体，硬压板的连接线缆固定在金属外壳的顶部，金属外壳的顶部开设有电场感应窗，用于供连接线缆的电场穿过；电场敏感器件，设置在金属外壳内并与绝缘基座电连接，电场敏感器件包括电场敏感芯片及其接口电路，电场敏感芯片用于感应所述连接线缆的电场并产生电流信号，接口电路用于处理所述电流信号并形成与所述连接线缆电压成比例的直流信号量；信号传输接头，固定在绝缘基座上并与所述焊盘电连接，用于将直流信号量输出。本申请具有减少对硬压板定期检测过程中的人工投入的效果。

主权项：1.一种用于硬压板电压非侵入监测的电场感知探头，其特征在于：包括：绝缘基座2，其上固定有焊盘21；金属外壳1，与所述绝缘基座2固定并与绝缘基座2的地电连接，形成内部为空腔的电磁屏蔽壳体，硬压板的连接线缆固定在所述金属外壳1的顶部，所述金属外壳1的顶部开设有电场感应窗11，用于供连接线缆的电场穿过；电场敏感器件3，设置在金属外壳1内并与绝缘基座2电连接，所述电场敏感器件包括电场敏感芯片31及其接口电路32，所述电场敏感芯片31用于感应所述连接线缆的电场并产生电流信号，所述接口电路32用于处理所述电流信号并形成与所述连接线缆电压成比例的直流信号量；信号传输接头4，固定在所述绝缘基座2上并与所述焊盘21电连接，用于将所述直流信号量输出；所述电场敏感芯片31为MEMS电场敏感芯片31，所述接口电路32为集成电路芯片325，或者所述接口电路32为包括电流电压转换放大器、差分放大器、低通滤波器、同步解调器的组合电路；所述接口电路32用于提供驱动电压以带动MEMS电场敏感芯片31内部的屏蔽电极311来回振动，所述屏蔽电极311两侧的感应电极312受所述屏蔽电极311的周期性屏蔽产生两个相反方向的电流信号，所述接口电路32用于将所述相反方向的电流信号转换放大为相反方向的电压信号，并经过差分放大、解调、滤波处理得到与所述连接线缆电压成比例的所述直流信号量；所述MEMS电场敏感芯片31和所述集成电路芯片325叠合放置在衬底33上，所述集成电路芯片325叠合在所述MEMS电场敏感芯片31下方并通过引线键合技术或者硅通孔技术封装，所述集成电路芯片325叠合在所述MEMS电场敏感芯片31之间设置有绝缘层34；或者所述MEMS电场敏感芯片31和所述集成电路芯片325相邻布置在所述衬底33上；或者所述MEMS电场敏感芯片31和所述集成电路芯片325分布在所述绝缘基座2的上下表面，所述MEMS电场敏感芯片31固定在所述绝缘基座2上表面的凹槽内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 一种用于硬压板电压非侵入监测的电场感知探头

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