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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日：2022-12-29
公开（公告）日：2024-07-02
公开（公告）号：CN118276398A
主分类号：G03F1/70
分类号：G03F1/70
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.19#实质审查的生效;2024.07.02#公开
摘要：一种掩膜版图的拆分方法，包括：提供栅极版图，栅极版图包括若干栅极图形；获取初始金属切断层版图，初始金属切断层版图包括若干金属切断层图形组，每组金属切断层图形组包括若干金属切断层图形；基于初始金属切断层版图获取标记层版图，标记层版图包括若干沿第二方向平行排布的标记层图形，标记层图形与具有最小特征尺寸图形的金属切断层图形组之间具有重叠区域；将栅极版图和标记层版图作为参考版图对初始金属切断层版图拆分处理，形成若干金属切断层版图。栅极版图和标记层版图均与初始金属切断层版图存在稳定的空间位置关系，因此基于栅极版图和标记层版图对初始金属切断层版图进行拆分，能够有效提升版图的拆分效率和灵活性。
主权项：1.一种掩膜版图的拆分方法，其特征在于，包括：提供栅极版图，所述栅极版图包括若干沿第一方向平行排布的栅极图形；基于所述栅极版图获取初始金属切断层版图，所述初始金属切断层版图包括若干沿第二方向平行排布的金属切断层图形组，每组所述金属切断层图形组包括若干沿所述第一方向排布的金属切断层图形，所述第一方向与所述第二方向垂直，当所述初始金属切断层版图和所述栅极版图层叠时，所述金属切断层图形组与所述栅极图形之间具有重叠区域；基于所述初始金属切断层版图获取标记层版图，所述标记层版图包括若干沿所述第二方向平行排布的标记层图形，当所述标记层版图与所述初始金属切断层版图层叠时，所述标记层图形与具有最小特征尺寸图形的所述金属切断层图形组之间具有重叠区域；将所述栅极版图和所述标记层版图作为参考版图对所述初始金属切断层版图拆分处理，使得所述初始金属切断层版图形成若干金属切断层版图。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 掩膜版图的拆分方法
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