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申请/专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日：2024-03-22
公开（公告）日：2024-07-02
公开（公告）号：CN118270724A
主分类号：B81B7/02
分类号：B81B7/02;B81B7/00
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.19#实质审查的生效;2024.07.02#公开
摘要：本公开实施例公开了一种微机电结构、MEMS传感器及电子设备，所述微机电结构包括结构层，所述结构层包括叠设的感测层和电极层，所述感测层与所述电极层之间具有间隙，沿垂直于所述微机电结构高度方向的截面上，所述感测层包括第一区域、第二区域和第一隔离槽，所述第一隔离槽分隔开所述第一区域和所述第二区域，所述第一区域设有第一电连接点，所述第二区域用于感测外部信号，所述电极层与所述第一区域位置相对的一侧设有第二电连接点，所述第一电连接点和所述第二电连接点用于与所述微机电结构的内部和或外部形成电连接，从而能够在第一区域位置形成独立的平行板电容器，能够提升结构层的空间利用率。
主权项：1.一种微机电结构，其特征在于，包括：结构层，所述结构层包括叠设的感测层1和电极层2，所述感测层1与所述电极层2之间具有间隙，沿垂直于所述微机电结构高度方向的截面上，所述感测层1包括第一区域11、第二区域12和第一隔离槽13，所述第一隔离槽13分隔开所述第一区域11和所述第二区域12，所述第一区域11设有第一电连接点，所述第二区域12用于感测输入信号，所述电极层2与所述第一区域11位置相对的一侧设有第二电连接点，所述第一电连接点和所述第二电连接点用于与所述微机电结构的内部和或外部形成电连接，且所述第一区域11、所述电极层2与所述间隙共同形成平行板电容器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 歌尔微电子股份有限公司 微机电结构、MEMS传感器及电子设备
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