申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司

申请日：2023-10-20

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN221239596U

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01L21/677;H01L21/687;H01L21/66;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权

摘要：本实用新型公开一种夹持式芯片校准机构，包括：基板、安装于基板上表面的芯片载台和安装于基板上表面并位于芯片载台后侧的固定支架，所述芯片载台的左、右两侧分别可活动地设置有左推杆、右推杆，所述左推杆、右推杆各自的另一端均通过一前后延伸的支撑杆与活动安装于固定支架上表面的左活动座、右活动座连接，所述固定支架的下表面并位于左活动座与右活动座之间安装有一双轴电机，所述双轴电机的下输出轴上安装有一转盘，该转盘上开设有一缺口，所述转盘的外侧安装有一与所述缺口对应的传感器。本实用新型既可以相向靠近芯片以实现芯片的夹持和对位置的校准，又可以相背远离芯片便于芯片的上下料，还可以实时监测，实现对机构的自动高精度控制。

主权项：1.一种夹持式芯片校准机构，包括：基板（1）、安装于基板（1）上表面的芯片载台（2）和安装于基板（1）上表面并位于芯片载台（2）后侧的固定支架（3），所述芯片载台（2）的上表面用于放置芯片（100），其特征在于：所述芯片载台（2）的左、右两侧分别可活动地设置有左推杆（91）、右推杆（92），可沿左右方向移动的所述左推杆（91）、右推杆（92）各自的一端用于与芯片（100）挤压接触，所述左推杆（91）、右推杆（92）各自的另一端均通过一前后延伸的支撑杆（8）与活动安装于固定支架（3）上表面的左活动座（61）、右活动座（62）连接；所述固定支架（3）的下表面并位于左活动座（61）与右活动座（62）之间安装有一双轴电机（4），竖直延伸的所述双轴电机（4）的上输出轴（41）向上穿过固定支架（3）的上表面并依次套装有第一凸轮（51）、第二凸轮（52），所述左活动座（61）上安装有一与所述第一凸轮（51）配合的第一轴承（11），所述右活动座（62）上安装有一与所述第二凸轮（52）配合的第二轴承（12），上下叠置的所述第一凸轮（51）与第二凸轮（52）在周向上相差180°，所述左活动座（61）、右活动座（62）各自的外侧均设置有一水平延伸的弹簧（10），使得所述左活动座（61）与右活动座（62）在弹簧（10）的作用下始终保持相向移动的趋势，所述双轴电机（4）的下输出轴（42）上安装有一转盘（17），该转盘（17）上开设有一缺口（171），所述转盘（17）的外侧安装有一与所述缺口（171）对应的传感器（18）。

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