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申请/专利权人：三菱电机株式会社
申请日：2018-08-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN111788700B
主分类号：H01L31/112
分类号：H01L31/112;G01J1/02
优先权：["20180306 JP 2018-039574"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开
摘要：电磁波检测器1具备：绝缘膜22，具有第1面和与第1面对置的第2面；包含第1二维原子层材料的第1层40，由于被入射的电磁波而进行光电变换，电位发生变化；以及包含第2二维原子层材料的第2层30，设置于第1面上，经由绝缘膜22被提供电位的变化，产生电量的变化。由此，检测入射的电磁波作为电量的变化，能够提供针对入射的电磁波的响应速度快的高灵敏度的电磁波检测器1。
主权项：1.一种电磁波检测器，其特征在于，具备：第1绝缘膜，具有第1面和与所述第1面对置的第2面；包含第1二维原子层材料的第1层，由于被入射的电磁波而进行光电变换，该第1层被施加偏置电压，电位发生变化；以及包含第2二维原子层材料的第2层，设置于所述第1面上，经由所述第1绝缘膜被提供所述电位的变化，产生电量的变化，所述第1绝缘膜的膜厚为在所述第1层和所述第2层之间不由于电磁波的入射而产生隧道电流的厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三菱电机株式会社 电磁波检测器以及具备该电磁波检测器的电磁波检测器阵列
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