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申请/专利权人：株式会社村田制作所
申请日：2022-11-09
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118266169A
主分类号：H03H9/25
分类号：H03H9/25
优先权：["20211201 JP 2021-195507"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：提供一种能够抑制电感器与设置了电感器的构件之间的电容耦合的弹性波装置。本发明的弹性波装置1具备：压电性基板2，包含压电体层6；IDT电极7功能电极，设置在压电体层6上；第1支承层8，设置在压电性基板2上，并设置为包围IDT电极7；盖构件12，设置在第1支承层8上，具有位于IDT电极7侧的第1主面12a以及与第1主面12a对置的第2主面12b；氧化硅层13无机氧化物层，设置在盖构件12的第1主面12a侧；以及电感器14，设置在氧化硅层13上，包括布线。盖构件12包含硅。弹性波装置1还具备：非晶硅层10以及多晶硅层中的一者，设置在盖构件12与氧化硅层13之间。
主权项：1.一种弹性波装置，具备：压电性基板，包含压电体层；功能电极，设置在所述压电体层上；支承层，设置在所述压电性基板上，并设置为包围所述功能电极；盖构件，设置在所述支承层上，具有位于所述功能电极侧的第1主面以及与所述第1主面对置的第2主面；无机氧化物层，设置在所述盖构件的所述第1主面侧；以及电感器，设置在所述无机氧化物层上，包括布线，所述盖构件包含硅，所述弹性波装置还具备：非晶硅层以及多晶硅层中的一者，设置在所述盖构件与所述无机氧化物层之间。
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