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弹性波装置 

申请/专利权人:株式会社村田制作所

申请日:2023-12-27

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118264218A

主分类号:H03H9/13

分类号:H03H9/13;H03H9/145;H03H9/02

优先权:["20221228 JP 2022-212650"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:本发明提供一种进一步抑制在包含IDT电极的谐振器的谐振特性产生的无用波的纹波的弹性波装置。在弹性波装置1中,包含IDT电极3和压电性基板2的一部分的谐振器10具有多个区域A1~A13。多个区域A1~A13包含中央区域A7、第1间隙区域A4、第2间隙区域A10、第1边缘区域A5、第2边缘区域A9、第1中间区域A6、以及第2中间区域A8。第1中间区域位于中央区域与第1边缘区域之间。第2中间区域位于中央区域与第2边缘区域之间。在第1中间区域以及第2中间区域中,弹性波的声速比中央区域慢且弹性波的声速比第1边缘区域以及第2边缘区域快。

主权项:1.一种弹性波装置,具备:压电性基板;以及IDT电极,设置在所述压电性基板上,所述IDT电极具有:第1汇流条;第2汇流条,在第1方向上与所述第1汇流条对置;多个第1电极指,与所述第1汇流条连接,并在所述第1方向上从所述第1汇流条朝向所述第2汇流条延伸;以及多个第2电极指,与所述第2汇流条连接,并在所述第1方向上从所述第2汇流条朝向所述第1汇流条延伸,在所述IDT电极中,所述多个第1电极指和所述多个第2电极指在与所述第1方向交叉的第2方向上相互隔开排列,所述第1汇流条以及所述第2汇流条各自包含:开口部;内侧汇流条部,在所述第1方向上位于比所述开口部靠所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指侧;外侧汇流条部,在所述第1方向上从所述开口部观察位于与所述内侧汇流条部相反侧;以及连结部,在所述第1方向上将所述内侧汇流条部和所述外侧汇流条部连结,在将所述多个第1电极指的前端缘的包络线与多个第2电极指的前端缘的包络线之间的区域设为交叉区域时,在从所述压电性基板的厚度方向的俯视下,包含所述IDT电极和所述压电性基板的一部分的谐振器在所述第1方向上具有相互不同的多个区域,所述多个区域包含:中央区域,包含所述第1方向上的所述IDT电极的所述交叉区域的中央部,并包含所述多个第1电极指的中央部和所述多个第2电极指的中央部;第1间隙区域,包含所述第1汇流条与所述多个第2电极指之间的间隙;第2间隙区域,包含所述第2汇流条与所述多个第1电极指之间的间隙;第1边缘区域,包含所述多个第2电极指的前端部;第2边缘区域,包含所述多个第1电极指的前端部;第1中间区域,位于所述中央区域与所述第1边缘区域之间;以及第2中间区域,位于所述中央区域与所述第2边缘区域之间,在所述第1间隙区域以及所述第2间隙区域中,弹性波的声速比所述中央区域快,在所述第1中间区域以及所述第2中间区域中,弹性波的声速比所述中央区域慢且弹性波的声速比所述第1边缘区域以及所述第2边缘区域快。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社村田制作所 弹性波装置

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