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申请/专利权人：中北大学
申请日：2024-03-08
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118258270A
主分类号：F42B3/10
分类号：F42B3/10;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/08;C23C14/58;C23C14/30;F42B3/12;F42B3/195
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明涉及微电子机械系统技术领域，具体公开一种MEMS电‑化学复合含能爆炸箔及其制备方法，包括基片，基片上开设有通孔，通孔内安装有电极，基片设置有与电极导通的爆炸箔，爆炸箔包括在基片上设置的金属膜层和含能AlCuO结构,金属膜层包括在基片上自下而上设置的TiW膜、Ni膜和Au膜。本发明将电能与化学能相结合，提高薄膜换能元的能量转换效率，增强能量输出，有效降低发火管的起爆电压，增加起爆速度，显著改善发火管的性能；爆炸箔上表面的Au膜能有效防止Cu膜氧化，Au膜与焊锡的粘附性比铜好，有利于装配焊接引线，增加焊接强度，爆炸箔的结构设计合理简单，易单片集成、使用方便。
主权项：1.一种MEMS电-化学复合含能爆炸箔，包括基片，所述基片上开设有通孔，其特征在于，所述通孔内安装有电极，所述基片设置有与所述电极导通的爆炸箔，所述爆炸箔包括在基片上设置的金属膜层和含能AlCuO结构,所述金属膜层包括在基片上自下而上设置的TiW膜、Ni膜和Au膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中北大学 一种MEMS电-化学复合含能爆炸箔及其制备方法
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