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半导体材料封装用检测装置 

申请/专利权人:无锡瑞鸿兴半导体设备有限公司

申请日:2024-03-29

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118258817A

主分类号:G01N21/89

分类号:G01N21/89

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:本发明涉及半导体材料技术领域,具体涉及半导体材料封装用检测装置,包括工作台、摄像组件以及用于固定摄像组件的弧形架。通过摄像组件和旋转台的结合,实现了对半导体器件上下两面的快速检测,无需翻转器件,大大提高了检测效率。此外,利用半导体器件产生平面转动的方式,实现了对多个侧面的连续逐一检测,无需重复装夹或二次检测。补光灯圈的应用提升了图像的清晰度,增强了自动识别的准确性。设计中考虑了降低故障率的因素,如滚珠与旋转台配合以降低摩擦力,传动带内的张紧辊防止磨损。本装置不仅解决了传统技术的不足,还显著提高了检测全面性、效率和准确性,为半导体材料封装检测提供了一种可靠、高效的解决方案。

主权项:1.半导体材料封装用检测装置,包括工作台1、摄像组件25以及用于固定摄像组件25的弧形架12,其特征在于,所述工作台1顶部对称设有支架3,所述支架3顶部设有同一底圈401,所述底圈401外周面套设有同一套环4,所述套环4内部滑动套设有旋转台6,所述旋转台6顶部设有用于被检测的半导体器件2;所述摄像组件25包括有摄像头15,所述摄像头15顶端设有滑块14,所述滑块14滑动插设于弧形架12内部,所述弧形架12与滑块14相交位置处开设有导向槽13,所述弧形架12内部设有用于驱动摄像头15运动的驱动组件,所述工作台1顶部设有检测电脑23,所述旋转台6为高透光材质制成。

全文数据:

权利要求:

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