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申请/专利权人：吴世德
申请日：2022-12-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263169A
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;H01L21/67
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明公开一种基板传送系统，所述基板传送系统能够精密调节基板的移动方向和位置，从而可以在为传送晶圆等基板而通过基板传送机器人将基板收纳到搬运容器或从搬运容器取出的过程中防止基板表面损伤。
主权项：1.一种基板传送系统，其中，包括：搬运容器，具有用于储存基板的内部空间；基板传送机器人，包括用于放置基板的末端执行器，用于将基板收纳到所述搬运容器或从所述搬运容器中取出基板；测量单元，设置在所述搬运容器的内部空间的上侧或下侧，用于测量基板和所述末端执行器的运动；以及控制单元，基于所述测量单元的测量值来控制所述基板传送机器人。
全文数据：
权利要求：
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