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一种功率器件封装用DBC陶瓷基板的制作方法及装置 

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申请/专利权人:重庆云潼科技有限公司

摘要:本发明涉及电子封装材料技术领域,尤其涉及一种功率器件封装用DBC陶瓷基板的制作方法,该方法包括:将至少一种预设尺寸规格的Al2O3粉、烧结助剂、表面活性剂和有机溶剂按预设比例加入球磨机进行球磨并干燥;将纳米银分散到十二烷基磺酸钠溶液中并进行超声操作,得到纳米银分散体;将纳米银分散体和增稠剂加入球磨机继续球磨,从球磨机里出料,再通过真空脱泡获得流延浆料;将流延浆料置在流延机上流延成型,得到流延生坯片,再对流延生坯片进行烧结,得到预设规格的陶瓷基板。本发明通过在不同粒径Al2O3中增加导热粒子来提高Al2O3陶瓷基板的导热性能,使导热粒子增强于Al2O3导热通路构建,还增强Al2O3陶瓷的韧性。

主权项:1.一种功率器件封装用DBC陶瓷基板的制作方法,其特征在于,包括:将至少一种预设尺寸规格的Al2O3粉、烧结助剂、表面活性剂和有机溶剂按预设比例加入球磨机进行球磨并干燥,所述预设尺寸规格的Al2O3粉包括:粒径范围为30-50微米的Al2O3粉、粒径为5-20微米的Al2O3粉和粒径为450-550纳米的Al2O3粉,所述有机溶剂为松油醇,用量为40-60wt%,所述表面活性剂包括卵磷脂和十二烷基磺酸钠,用量为1-5wt%,所述烧结助剂为氧化镁,用量为500ppm;将纳米银分散到质量分数为0.3%-1.0%的十二烷基磺酸钠溶液中并超声0.3-0.7小时,制备纳米银分散体;将所述纳米银分散体和增稠剂加入所述球磨机继续球磨,从所述球磨机里出料,再通过真空脱泡获得粘度为20000-24000mPa·s的流延浆料,所述增稠剂为乙基纤维素,用量为2-10wt%;将所述流延浆料置在流延机上流延成型,得到流延生坯片,再将所述流延生坯片放在850-1350℃的窑炉中烧结,高温保温5-7小时,烧结成预设规格的陶瓷基板。

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