买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:三星显示有限公司
摘要:本实用新型提供一种沉积装置。根据本实用新型的一实施例的沉积装置包括:支撑模块,包含与对象基板结合的多个支撑部;基材基板,与支撑模块结合;连接部件,连接多个支撑部与基材基板;以及掩模组件,与对象基板相邻,并掩蔽向对象基板提供的沉积物质。支撑模块包括:位置控制部,以使多个支撑部中的每一个能够沿垂直于支撑部的方向轴移动的方式进行调节,从而能够去除对象基板与掩模框架的间隙并防止阴影现象。
主权项:1.一种沉积装置,其特征在于,包括:支撑模块,包含与对象基板结合的多个支撑部;基材基板,与所述支撑模块结合;连接部件,连接所述多个支撑部与所述基材基板;以及掩模组件,与所述对象基板相邻,并掩蔽向所述对象基板提供的沉积物质,其中,所述支撑模块还包括:位置控制部,以使所述多个支撑部中的每一个能够沿垂直于所述支撑部的方向轴移动的方式进行调节。
全文数据:
权利要求:
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。