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申请/专利权人：湖南省金特克科技有限公司
申请日：2024-05-22
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118223114A
主分类号：C30B23/00
分类号：C30B23/00;C30B29/36
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明涉及长晶炉技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅的长晶炉，包括炉体，所述炉体中固定设置有隔热保温件，所述隔热保温件的上表面开设有放置槽，且放置槽中放置有石墨坩埚，所述石墨坩埚的上方设置有埚盖，且埚盖的外壁贯穿固定设置有籽晶杆，所述籽晶杆的底端固定设置有籽晶托，且籽晶托位于石墨坩埚中，所述隔热保温件中还开设有环腔，且环腔中设置有安装筒，所述安装筒的内壁固定设置有加热线圈，用于加热石墨坩埚中的物料。本发明可以通过调节机构带动安装筒中的加热线圈绕石墨坩埚转动并上下移动，进而实现对温度的精确控制，达到提高单晶质量、稳定生长速率的目的，使用效果更佳。
主权项：1.一种用于碳化硅的长晶炉，包括炉体，其特征在于，所述炉体中固定设置有隔热保温件，所述隔热保温件的上表面开设有放置槽，且放置槽中放置有石墨坩埚，所述石墨坩埚的上方设置有埚盖，且埚盖的外壁贯穿固定设置有籽晶杆，所述籽晶杆的底端固定设置有籽晶托，且籽晶托位于石墨坩埚中，所述隔热保温件中还开设有环腔，且环腔中设置有安装筒，所述安装筒的内壁固定设置有加热线圈，用于加热石墨坩埚中的物料，所述炉体的外壁固定设置有等距离呈环形分布的托板，且托板的上表面固定设置有第一伸缩件，所述第一伸缩件的伸缩端固定设置有密封盖，还包括：调节机构，所述调节机构设置于密封盖的下方，用于带动安装筒中加热线圈绕石墨坩埚转动并上下移动，所述调节机构包括第二伸缩件，所述密封盖的外壁开设有安装孔，且第二伸缩件固定设置于安装孔，所述第二伸缩件的伸缩端固定设置有升降座，所述升降座中固定设置有驱动件，且驱动件的驱动端设置有转盘，所述转盘的下表面固定设置有等距离呈环形分布的卡板，且卡板的剖面呈L形，所述隔热保温件的上表面还开设有和环腔相连通的活动口，所述安装筒的顶端固定设置有升降筒，且升降筒贯穿所述活动口，所述升降筒的外壁固定设置有等距离呈环形分布的安装板，且安装板的下表面开设有卡槽，所述卡板和卡槽之间相契合；密封机构，所述密封机构设置于炉体和密封盖之间，用于密封盖与炉体盖合时起密封作用；降温机构，所述降温机构设置于隔热保温件中，用于长晶后降低石墨坩埚的温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南省金特克科技有限公司 一种用于碳化硅的长晶炉
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