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申请/专利权人：法国亚眠大学
申请日：2022-11-03
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118234888A
主分类号：C23C16/26
分类号：C23C16/26;C23C16/50;C23C16/505;C23C16/28;C23C16/455;B01J19/08;B01J19/22;B82Y30/00;B82Y40/00;C01B32/186;H01J37/32;H01L21/02;C23C16/56;C23C16/02;C01B32/198;B01J19/12;B01J19/28
优先权：["20211104 EP 21306551.9"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明涉及一种使用等离子体增强化学气相沉积法将石墨烯或氧化石墨烯从至少一种碳前体的气态源直接沉积到感兴趣的基底上的方法。本发明还涉及一种用于实现该方法的设备。
主权项：1.使用等离子体增强化学气相沉积法将石墨烯或氧化石墨烯从至少一种碳前体的气态源沉积到基底上的方法，其特征在于，所述碳前体由乙烯组成，并且所述方法在18℃至40℃之间的温度下并且在不存在载气下进行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 法国亚眠大学 用于将石墨烯或氧化石墨烯直接沉积到感兴趣的基底上的方法
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皖公网安备 34010402703815号