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申请/专利权人：朗姆研究公司
申请日：2022-10-31
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118235238A
主分类号：H01L21/687
分类号：H01L21/687;C23C16/458
优先权：["20211102 US 63/274,892"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：用于衬底处理系统的硬止动件包含第一部分，其包含：被配置成延伸至销致动器的下波纹管中的第一孔中的凸座；分别延伸通过凸座和第一部分的第二孔；以及第二部分，其包含：连接至第一部分的第一端；以及被配置成接触销致动器的支架的第二端，该支架被配置成将销致动器安装至衬底处理室。
主权项：1.一种用于衬底处理系统的硬止动件，所述硬止动件包含：第一部分，其包含：凸座，其被配置成延伸至销致动器的下波纹管中的第一孔中；第二孔，其相应地延伸通过所述凸座和所述第一部分；以及第二部分，其包含：第一端，其连接至所述第一部分；以及第二端，其被配置成接触所述销致动器的支架，所述支架被配置成将所述销致动器安装至衬底处理室。
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