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申请/专利权人：上海赢朔电子科技股份有限公司
申请日：2024-04-30
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118231327A
主分类号：H01L21/687
分类号：H01L21/687;H01L21/67
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明公开了一种用于转塔式固晶装置的晶圆承载结构，包括基板10、旋转组件50、第一平移组件20、以及第二平移组件30；旋转组件50包括旋转盘51和第三电机52；第三电机52固定设置于基板10的一端；旋转盘51设置于基板10的正面，并且旋转盘51能够在第三电机52的驱动下相对于基板10转动；基板10与第一平移组件20活动连接且基板10能够相对于第一平移组件20线性移动；第一平移组件20与第二平移组件30活动连接且第一平移组件20能够相对于第二平移组件30线性移动；基板10相对于第一平移组件20线性移动的移动方向与第一平移组件20相对于第二平移组件30线性移动的移动方向相垂直。所述晶圆承载结构能够实现晶圆的转动和两个相互正交方向的线性移动。
主权项：1.用于转塔式固晶装置的晶圆承载结构，其特征在于，该晶圆承载结构包括基板10和旋转组件50；旋转组件50包括旋转盘51和第三电机52；第三电机52固定设置于基板10的一端；旋转盘51设置于基板10的正面，并且旋转盘51能够在第三电机52的驱动下相对于基板10转动；旋转盘51整体呈圆环体形，旋转盘51包括环体部51-1、圆周壁部51-2、以及凸缘部51-3；环体部51-1呈圆环体形；圆周壁部51-2固定设置于环体部51-1的外边缘处，圆周壁部51-2垂直于环体部51-1，圆周壁部51-2的外侧圆周面上固定设置有齿牙，并且圆周壁部51-2的外侧圆周面上的齿牙的延伸方向垂直于环体部51-1；圆周壁部51-2的内侧圆周面固定设置有凸缘部51-3，凸缘部51-3相对于圆周壁部51-2向内突出，并且凸缘部51-3的内边缘呈楔形。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海赢朔电子科技股份有限公司 用于转塔式固晶装置的晶圆承载结构
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