申请/专利权人：深圳市赛弥康电子科技有限公司

申请日：2019-05-21

公开（公告）日：2024-06-18

公开（公告）号：CN110132011B

主分类号：F27B17/00

分类号：F27B17/00;F27D3/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.18#授权;2019.09.10#实质审查的生效;2019.08.16#公开

摘要：本发明公开了焗炉，所述支撑底板一侧边端斜向固定安装有伸缩气缸，且伸缩气缸顶端与伸缩支撑架活动连接，所述升降转运台顶端中部固定安装有回转台，所述回转台顶端纵向连接有Y轴移动滑座，本发明结构科学合理，使用安全方便，通过伸缩支撑架和伸缩气缸便于对升降转运台的升降高度进行调节，再结合回转台、Y轴移动滑座和螺旋推杆便于对载物框板的位置进行调节，进而便于将载物框板移动至对应的第一支撑托板、第二支撑托板和第三支撑托板内，以便对载物框板内部的半导体芯片进行烘烤、风冷和置放，提高了生产的便捷性，以此利用机器设备来替代人工进行进出料操作，使半导体芯片的生产更具规范化和模式化。

主权项：1.焗炉，包括地板1，其特征在于：所述地板1顶面两侧均安装有移动滑轨2，两个所述移动滑轨2内侧中端均开设有导向滑槽3，所述导向滑槽3内部嵌入滚动连接有小车移动轮4，所述小车移动轮4设置有四个，且四个所述小车移动轮4顶端均安装有支撑座5，所述支撑座5顶端中部安装有连接座6，所述支撑座5通过其顶端中部的连接座6与移动小车7之间固定连接，所述移动小车7内部两侧边端均等距安装有第一支撑托板8，两个所述第一支撑托板8内侧均嵌入滚动连接有托盘车移动轮9，所述托盘车移动轮9设置有十个，且十个所述托盘车移动轮9顶端均安装有载物托盘车10，所述载物托盘车10顶部两侧均等距安装有载物框板11，所述载物框板11一侧边部中端开设有进料槽12；所述地板1顶面位于移动滑轨2一侧位置处均等距安装有焗烤箱17，所述焗烤箱17内部开设有烘烤腔室18，所述烘烤腔室18内部两侧边端均等距安装有第二支撑托板19；所述导向滑槽3的内径与小车移动轮4的宽度相等，所述移动滑轨2一端位于导向滑槽3内部位置处设置有润滑脂；所述移动小车7顶部两侧边端均固定安装有侧撑支架13，两个所述侧撑支架13顶端均焊接有顶板14，所述顶板14底端中部连接有移动块34，所述移动块34底端活动连接有导向滑板33，所述导向滑板33底端固定连接有搬运机械手15，所述搬运机械手15底端活动连接有转向柱35，所述转向柱35底端活动连接有夹持爪16；所述移动小车7一侧位于地板1顶面位置处固定安装有支撑底板20，所述支撑底板20两侧边端均安装有伸缩支撑架21，所述支撑底板20一侧边端斜向固定安装有伸缩气缸22，且伸缩气缸22顶端与伸缩支撑架21活动连接，两个所述伸缩支撑架21顶端均安装有升降转运台23，所述升降转运台23顶端中部固定安装有回转台24，所述回转台24顶端纵向连接有Y轴移动滑座25，所述Y轴移动滑座25顶端固定安装有置物框板26，所述置物框板26内侧中端固定安装有螺旋推杆27；所述升降转运台23一侧位于地板1顶面位置处安装有风冷架28，所述风冷架28正端面上下两侧均安装有风机29，所述风机29的输入端与外部电源的输出端电性连接；所述升降转运台23另一侧与风冷架28对应位置处安装有料架30，所述风冷架28和料架30底端均安装有支撑板31，所述风冷架28和料架30内侧边端均等距焊接有第三支撑托板32；所述第三支撑托板32、第一支撑托板8和第二支撑托板19的宽度和长度均相等，且第一支撑托板8、第二支撑托板19和第三支撑托板32内侧中端均开设有契合槽。

全文数据：自动进出料装置及焗炉技术领域本发明涉及半导体芯片生产技术领域，具体为自动进出料装置及焗炉。背景技术在半导体生产车间内生产半导体芯片时，通常需要把半导体芯片载体pieces堆垛在一个用5kg压块的一个载具里，多个堆垛pieces的载具一起放置到焗烤箱里进行一定温度和时间的焗烤，完成后拿出风冷，但是在该生产过程中需要投入大量的人工，不仅操作难度较高，同时劳动强度大和生产效率低，进而不利于半导体芯片的批量生产，另外利用人工来生产半导体芯片不仅成本高，且容易因操作误差而导致半导体芯片在实际生产过程中产生损坏的现象。发明内容本发明提供自动进出料装置及焗炉，可以有效解决上述背景技术中提出人工操作，不仅操作难度较高，同时劳动强度大和生产效率低，进而不利于半导体芯片的批量生产，另外利用人工来生产半导体芯片不仅成本高，且容易因操作误差而导致半导体芯片在实际生产过程中产生损坏的现象的问题。为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：自动进出料装置及焗炉，包括地板，所述地板顶面两侧均安装有移动滑轨，两个所述移动滑轨内侧中端均开设有导向滑槽，所述导向滑槽内部嵌入滚动连接有小车移动轮，所述小车移动轮设置有四个，且四个所述小车移动轮顶端均安装有支撑座，所述支撑座顶端中部安装有连接座，所述支撑座通过其顶端中部的连接座与移动小车之间固定连接，所述移动小车内部两侧边端均等距安装有第一支撑托板，两个所述第一支撑托板内侧均嵌入滚动连接有托盘车移动轮，所述托盘车移动轮设置有十个，且十个所述托盘车移动轮顶端均安装有载物托盘车，所述载物托盘车顶部两侧均等距安装有载物框板，所述载物框板一侧边部中端开设有进料槽；所述移动小车顶部两侧边端均固定安装有侧撑支架，两个所述侧撑支架顶端均焊接有顶板，所述顶板底端中部连接有移动块，所述移动块底端活动连接有导向滑板，所述导向滑板底端固定连接有搬运机械手，所述搬运机械手底端活动连接有转向柱，所述转向柱底端活动连接有夹持爪；所述移动小车一侧位于地板顶面位置处固定安装有支撑底板，所述支撑底板两侧边端均安装有伸缩支撑架，所述支撑底板一侧边端斜向固定安装有伸缩气缸，且伸缩气缸顶端与伸缩支撑架活动连接，两个所述伸缩支撑架顶端均安装有升降转运台，所述升降转运台顶端中部固定安装有回转台，所述回转台顶端纵向连接有Y轴移动滑座，所述Y轴移动滑座顶端固定安装有置物框板，所述置物框板内侧中端固定安装有螺旋推杆。所述地板顶面位于移动滑轨一侧位置处均等距安装有焗烤箱，所述焗烤箱内部开设有烘烤腔室，所述烘烤腔室内部两侧边端均等距安装有第二支撑托板。优选的，所述导向滑槽的内径与移动轮的宽度相等，所述移动滑轨一端位于导向滑槽内部位置处设置有润滑脂。优选的，所述载物框板分为两层，且单层载物框板的数量为十个。优选的，所述伸缩气缸顶端活动连接有活塞杆，且伸缩支撑架与活塞杆活动连接。优选的，所述螺旋推杆底部位于置物框板内侧顶面位置处安装有电机，所述电机与螺旋推杆之间通过齿轮啮合传动连接，且电机的输入端与外部电源的输出端电性连接。所述升降转运台一侧位于地板顶面位置处安装有风冷架，所述风冷架正端面上下两侧均安装有风机，所述风机的输入端与外部电源的输出端电性连接；所述升降转运台另一侧与风冷架对应位置处安装有料架，所述风冷架和料架底端均安装有支撑板，所述风冷架和料架内侧边端均等距焊接有第三支撑托板。优选的，所述第三支撑托板、第一支撑托板和第二支撑托板的宽度和长度均相等，且第一支撑托板、第二支撑托板和第三支撑托板内侧中端均开设有契合槽。优选的，所述风冷架和料架的高度相同，且风冷架和料架内侧边端的第三支撑托板均设置有十层。优选的，所述支撑板底端四角处均安装有支座，且支座底部表面均粘结有防滑垫。与现有技术相比，本发明的有益效果：本发明结构科学合理，使用安全方便：通过移动滑轨、导向滑槽、小车移动轮和移动小车便于将载物托盘车进行移动输送，进而便于将载物框板内部的半导体芯片及时的输送至焗烤箱内，进而降低了人工输送的劳动强度；利用侧撑支架、顶板、搬运机械手和夹持爪便于将半导体芯片抓取到对应的载物框板内，实现自动化的上料，避免人工操作导致半导体芯片在上料时产生误差，而通过伸缩支撑架和伸缩气缸便于对升降转运台的升降高度进行调节，再结合回转台、Y轴移动滑座和螺旋推杆便于对载物框板的位置进行调节，进而便于将载物框板移动至对应的第一支撑托板、第二支撑托板和第三支撑托板内，以便对载物框板内部的半导体芯片进行烘烤、风冷和置放，提高了生产的便捷性，以此利用机器设备来替代人工进行进出料操作，进而使半导体芯片的生产更具规范化和模式化，风冷架和风机便于对烘烤后的半导体芯片进行快速的风冷处理，来降低半导体芯片表面的热量，进而提高半导体芯片的生产效率。附图说明附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：图1是本发明的结构示意图；图2是本发明移动小车的结构示意图；图3是本发明第一支撑托板的安装结构示意图；图4是本发明载物托盘车的结构示意图；图5是本发明搬运机械手的安装结构示意图；图6是本发明升降转运台的安装结构示意图；图7是本发明风冷架的结构示意图；图8是本发明料架的结构示意图；图中标号：1、地板；2、移动滑轨；3、导向滑槽；4、小车移动轮；5、支撑座；6、连接座；7、移动小车；8、第一支撑托板；9、托盘车移动轮；10、载物托盘车；11、载物框板；12、进料槽；13、侧撑支架；14、顶板；15、搬运机械手；16、夹持爪；17、焗烤箱；18、烘烤腔室；19、第二支撑托板；20、支撑底板；21、伸缩支撑架；22、伸缩气缸；23、升降转运台；24、回转台；25、Y轴移动滑座；26、置物框板；27、螺旋推杆；28、风冷架；29、风机；30、料架；31、支撑板；32、第三支撑托板；33、导向滑板；34、移动块；35、转向柱；36、电机。具体实施方式以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。实施例：如图1-8所示，本发明提供一种技术方案，自动进出料装置及焗炉，包括地板1，地板1顶面两侧均安装有移动滑轨2，两个移动滑轨2内侧中端均开设有导向滑槽3，导向滑槽3内部嵌入滚动连接有小车移动轮4，导向滑槽3的内径与小车移动轮4的宽度相等，移动滑轨2一端位于导向滑槽3内部位置处设置有润滑脂，便于小车移动轮4与导向滑槽3之间的连接，同时提高小车移动轮4与导向滑槽3之间在导向滑动时的顺畅性，小车移动轮4设置有四个，且四个小车移动轮4顶端均安装有支撑座5，支撑座5顶端中部安装有连接座6，支撑座5通过其顶端中部的连接座6与移动小车7之间固定连接，移动小车7内部两侧边端均等距安装有第一支撑托板8，两个第一支撑托板8内侧均嵌入滚动连接有托盘车移动轮9，托盘车移动轮9设置有十个，且十个托盘车移动轮9顶端均安装有载物托盘车10，载物托盘车10顶部两侧均等距安装有载物框板11，载物框板11分为两层，且单层载物框板11的数量为十个，便于单次能够同时烘烤多个半导体芯片，载物框板11一侧边部中端开设有进料槽12。移动小车7顶部两侧边端均固定安装有侧撑支架13，两个侧撑支架13顶端均焊接有顶板14，顶板14底端中部连接有移动块34，移动块34底端活动连接有导向滑板33，导向滑板33底端固定连接有搬运机械手15，搬运机械手15底端活动连接有转向柱35，转向柱35底端活动连接有夹持爪16。移动小车7一侧位于地板1顶面位置处固定安装有支撑底板20，支撑底板20两侧边端均安装有伸缩支撑架21，支撑底板20一侧边端斜向固定安装有伸缩气缸22，且伸缩气缸22顶端与伸缩支撑架21活动连接，伸缩气缸22顶端活动连接有活塞杆，且伸缩支撑架21与活塞杆活动连接，便于通过伸缩气缸22来使伸缩支撑架21进行伸缩活动，两个伸缩支撑架21顶端均安装有升降转运台23，升降转运台23顶端中部固定安装有回转台24，回转台24顶端纵向连接有Y轴移动滑座25，Y轴移动滑座25顶端固定安装有置物框板26，置物框板26内侧中端固定安装有螺旋推杆27，螺旋推杆27底部位于置物框板26内侧顶面位置处安装有电机36，电机36与螺旋推杆27之间通过齿轮啮合传动连接，且电机36的输入端与外部电源的输出端电性连接，便于螺旋推杆27的转动，同时便于螺旋推杆27与电机的连接。地板1顶面位于移动滑轨2一侧位置处均等距安装有焗烤箱17，焗烤箱17内部开设有烘烤腔室18，烘烤腔室18内部两侧边端均等距安装有第二支撑托板19。升降转运台23一侧位于地板1顶面位置处安装有风冷架28，风冷架28正端面上下两侧均安装有风机29，风机29的输入端与外部电源的输出端电性连接。升降转运台23另一侧与风冷架28对应位置处安装有料架30，风冷架28和料架30的高度相同，且风冷架28和料架30内侧边端的第三支撑托板32均设置有十层，使风冷架28和料架30内部能够单次摆放数量更多的载物托盘车10，风冷架28和料架30底端均安装有支撑板31，支撑板31底端四角处均安装有支座，且支座底部表面均粘结有防滑垫，使支撑板31底部具备更高的支撑能力和防滑能力，风冷架28和料架30内侧边端均等距焊接有第三支撑托板32，第三支撑托板32、第一支撑托板8和第二支撑托板19的宽度和长度均相等，且第一支撑托板8、第二支撑托板19和第三支撑托板32内侧中端均开设有契合槽，使第三支撑托板32、第一支撑托板8和第二支撑托板19能够将统一规格的载物托盘车10进行支撑摆放，同时便于载物托盘车10与第三支撑托板32、第一支撑托板8和第二支撑托板19之间的契合连接。本发明的工作原理及使用流程：该自动进出料装置及焗炉在实际实施运行过程中，首先将移动小车7通过其底端的小车移动轮4与地板1顶面的移动滑轨2之间进行契合连接，进而使移动小车7能够通过其底端的小车移动轮4在移动滑轨2上做直线运动，接着将载物托盘车10和载物框板11放置在移动小车7内侧的第一支撑托板8上，然后将待加工的半导体芯片逐个通过进料槽12放入到对应的载物框板11内；待载物框板11内部均放入半导体芯片后，此时移动移动小车7，且使移动小车7移动至与焗烤箱17相对应的位置，然后利用移动小车7顶部的搬运机械手15和夹持爪16来将载物托盘车10通过其底端的托盘车移动轮9在第一支撑托板8上进行移动，而搬运机械手15和夹持爪16在实际操作时，利用导向滑板33和移动块34的导向便于对搬运机械手15的搬运位置进行调节，同时结合转向柱35便于对搬运机械手15底部夹持爪16的方向进行调节，以此使托盘车移动轮9带动其顶部的载物托盘车10移动至焗烤箱17内部的烘烤腔室18内，且使托盘车移动轮9滑入烘烤腔室18内侧的第二支撑托板19上，以此来对载物框板11内部的半导体芯片进行烘烤处理；当载物框板11内部的半导体芯片经过烘烤处理后，重复上述操作，通过搬运机械手15和夹持爪16将载物托盘车10通过托盘车移动轮9再次移动至移动小车7内部的第一支撑托板8上，此时依据载物托盘车10在移动小车7内部的高度，来调节升降转运台23的高度，在调节时，通过伸缩气缸22来带动其顶部的伸缩支撑架21进行伸缩，进而来促使升降转运台23进行升高或下降，当升降转运台23的顶面与载物托盘车10的底面相持平时，此时，再利用搬运机械手15和夹持爪16来将载物托盘车10移动至升降转运台23顶部的置物框板26内；当载物托盘车10移动至置物框板26内后，此时通过置物框板26底端的回转台24和Y轴移动滑座25来调节置物框板26的位置，以此来调节载物托盘车10的位置，且使载物托盘车10位置调节至与风冷架28内部第三支撑托板32相对应的位置时，停止对置物框板26位置的调节，并利用置物框板26内侧的螺旋推杆27来将载物托盘车10推入到风冷架28内部对应的第三支撑托板32上，而螺旋推杆27在转动时，通过其底端的电机36来带动齿轮进行转动，再利用电机36与螺旋推杆27之间齿轮啮合的关系，来带动螺旋推杆27进行螺旋式的推动，当载物托盘车10推入第三支撑托板32上后，此时启动风冷架28外侧的风机29，通过风机29来对载物托盘车10内部的半导体芯片进行风冷处理，以此来消除半导体芯片在烘烤后其内部所积蓄的热量；在半导体芯片经过风冷处理后，此时再次利用螺旋推杆27来将第三支撑托板32上的载物托盘车10推入到置物框板26上方，而当载物托盘车10再次进入到置物框板26上时，最后利用螺旋推杆27来将载物托盘车10推入到料架30内部对应位置处的第三支撑托板32上，以此来将载物托盘车10和其内部的半导体芯片进行搁置，来完成对半导体芯片的烘烤处理，在此说明，上述内容中的移动小车7、搬运机械手15和升降转运台23等部件均为现有公开技术，且使用时可直接采购。最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

权利要求：1.自动进出料装置及焗炉，包括地板1，其特征在于：所述地板1顶面两侧均安装有移动滑轨2，两个所述移动滑轨2内侧中端均开设有导向滑槽3，所述导向滑槽3内部嵌入滚动连接有小车移动轮4，所述小车移动轮4设置有四个，且四个所述小车移动轮4顶端均安装有支撑座5，所述支撑座5顶端中部安装有连接座6，所述支撑座5通过其顶端中部的连接座6与移动小车7之间固定连接，所述移动小车7内部两侧边端均等距安装有第一支撑托板8，两个所述第一支撑托板8内侧均嵌入滚动连接有托盘车移动轮9，所述托盘车移动轮9设置有十个，且十个所述托盘车移动轮9顶端均安装有载物托盘车10，所述载物托盘车10顶部两侧均等距安装有载物框板11，所述载物框板11一侧边部中端开设有进料槽12；所述移动小车7顶部两侧边端均固定安装有侧撑支架13，两个所述侧撑支架13顶端均焊接有顶板14，所述顶板14底端中部连接有移动块34，所述移动块34底端活动连接有导向滑板33，所述导向滑板33底端固定连接有搬运机械手15，所述搬运机械手15底端活动连接有转向柱35，所述转向柱35底端活动连接有夹持爪16；所述移动小车7一侧位于地板1顶面位置处固定安装有支撑底板20，所述支撑底板20两侧边端均安装有伸缩支撑架21，所述支撑底板20一侧边端斜向固定安装有伸缩气缸22，且伸缩气缸22顶端与伸缩支撑架21活动连接，两个所述伸缩支撑架21顶端均安装有升降转运台23，所述升降转运台23顶端中部固定安装有回转台24，所述回转台24顶端纵向连接有Y轴移动滑座25，所述Y轴移动滑座25顶端固定安装有置物框板26，所述置物框板26内侧中端固定安装有螺旋推杆27。2.根据权利要求1所述的自动进出料装置及焗炉，其特征在于：所述地板1顶面位于移动滑轨2一侧位置处均等距安装有焗烤箱17，所述焗烤箱17内部开设有烘烤腔室18，所述烘烤腔室18内部两侧边端均等距安装有第二支撑托板19。3.根据权利要求1所述的自动进出料装置及焗炉，其特征在于：所述导向滑槽3的内径与小车移动轮4的宽度相等，所述移动滑轨2一端位于导向滑槽3内部位置处设置有润滑脂。4.根据权利要求1所述的自动进出料装置及焗炉，其特征在于：所述载物框板11分为两层，且单层载物框板11的数量为十个。5.根据权利要求1所述的自动进出料装置及焗炉，其特征在于：所述伸缩气缸22顶端活动连接有活塞杆，且伸缩支撑架21与活塞杆活动连接。6.根据权利要求1所述的自动进出料装置及焗炉，其特征在于：所述螺旋推杆27底部位于置物框板26内侧顶面位置处安装有电机36，所述电机36与螺旋推杆27之间通过齿轮啮合传动连接，且电机36的输入端与外部电源的输出端电性连接。7.根据权利要求1所述的自动进出料装置及焗炉，其特征在于：所述升降转运台23一侧位于地板1顶面位置处安装有风冷架28，所述风冷架28正端面上下两侧均安装有风机29，所述风机29的输入端与外部电源的输出端电性连接；所述升降转运台23另一侧与风冷架28对应位置处安装有料架30，所述风冷架28和料架30底端均安装有支撑板31，所述风冷架28和料架30内侧边端均等距焊接有第三支撑托板32。8.根据权利要求7所述的自动进出料装置及焗炉，其特征在于：所述第三支撑托板32、第一支撑托板8和第二支撑托板19的宽度和长度均相等，且第一支撑托板8、第二支撑托板19和第三支撑托板32内侧中端均开设有契合槽。9.根据权利要求7所述的自动进出料装置及焗炉，其特征在于：所述风冷架28和料架30的高度相同，且风冷架28和料架30内侧边端的第三支撑托板32均设置有十层。10.根据权利要求7所述的自动进出料装置及焗炉，其特征在于：所述支撑板31底端四角处均安装有支座，且支座底部表面均粘结有防滑垫。

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