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申请/专利权人：上海华力微电子有限公司
摘要：本申请公开了一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统，该方法包括：通过用户界面获取待查询的晶圆批次LOT信息，在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据，所述测试数据包括所述LOT信息中的已测试晶圆ID、未测试晶圆ID、发生中断的中断数据及后续中断处理。通过实施本申请，能准确对晶圆批次LOT进行一键晶圆检测，自动判断LOT的测试情况。
主权项：1.一种查询中断晶圆批次LOT的方法，其特征在于，包括：通过用户界面UI获取待查询的晶圆批次LOT信息，所述LOT信息包括所述LOT的平台信息、产品信息和机台信息；在所述LOT信息中批次名称对应的程式名称不为空、机台为WAT机台，且工艺流程不为RC工艺流程的情况下，在晶圆检测系统中查询与所述LOT信息匹配的测试数据，所述测试数据包括所述LOT信息中的已测试晶圆ID、未测试晶圆ID、发生中断的中断数据及后续中断处理；所述晶圆检测系统中预先存储有中断晶圆批次LOT信息及WAT工程师的中断处理结果；判断所述已测试晶圆ID是否都存在晶圆列表Ban中；若否，则对未进入所述Ban中的已测试晶圆ID进行红色预警标记，以提示WAT工程师通知制造部MFG进行相应操作，将未进入所述Ban中的已测试晶圆ID放入所述Ban中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力微电子有限公司 一种查询中断晶圆批次LOT的方法及系统
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